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東莞市穗誠真空設備有限公司
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導電玻璃鍍膜設備

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具體成交價以合同協議為準

產品型號ITO

品       牌

廠商性質經銷商

所  在  地

更新時間:2018-05-02 22:04:36瀏覽次數:287次

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本鍍膜設備是在優質浮法玻璃上采用真空磁控濺射技術、孿生陰極、中頻濺射技術,并配以*的控制系統,鍍制SO2/ITO膜層,生產過程全部自動、連續進行
原產地: 東莞穗誠    
詳細說明本鍍膜設備是在優質浮法玻璃上采用真空磁控濺射技術、孿生陰極、中頻濺射技術,并配以*的控制系統,鍍制SO2/ITO膜層,生產過程全部自動、連續進行。
   主要組成部分
1 真空室:不銹鋼制造,立式,外壁通冷卻水,內襯不銹鋼擋板
2 真空系統:可選擴散泵系統,蝸輪分子泵系統或低溫泵系統
3 蒸發源:直流磁控濺靶和孿生陰極,中頻磁控濺射靶,分別固定在真空室兩例
4 工件烘烤:采用不銹鋼管狀加熱器配合熱板,確保基片加熱均勻性
5 充氣系統:氣體質量流量計和壓強自動控制儀
6 電氣控制系統:觸摸屏與PLC自動控制,人機對話方式來實現系統的數據顯示、操作與制
7 水冷系統:真空室冷卻和陰極冷卻,有水壓保護開關和水濕開關
主要技術參數:
極限真空壓力:7*10-4pa
平均生產周期:90秒/架
基片導尺寸:750*1200mm
總功率:350kw
直流磁控靶功率:20kw
中頻磁控靶功率:10kw

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