當前位置:東莞市穗誠真空設備有限公司>>真空鍍膜設備>> ITO導電玻璃鍍膜設備
原產地: | 東莞穗誠 | ||
詳細說明 | 本鍍膜設備是在優質浮法玻璃上采用真空磁控濺射技術、孿生陰極、中頻濺射技術,并配以*的控制系統,鍍制SO2/ITO膜層,生產過程全部自動、連續進行。 主要組成部分 1 真空室:不銹鋼制造,立式,外壁通冷卻水,內襯不銹鋼擋板 2 真空系統:可選擴散泵系統,蝸輪分子泵系統或低溫泵系統 3 蒸發源:直流磁控濺靶和孿生陰極,中頻磁控濺射靶,分別固定在真空室兩例 4 工件烘烤:采用不銹鋼管狀加熱器配合熱板,確保基片加熱均勻性 5 充氣系統:氣體質量流量計和壓強自動控制儀 6 電氣控制系統:觸摸屏與PLC自動控制,人機對話方式來實現系統的數據顯示、操作與制 7 水冷系統:真空室冷卻和陰極冷卻,有水壓保護開關和水濕開關 主要技術參數: 極限真空壓力:7*10-4pa 平均生產周期:90秒/架 基片導尺寸:750*1200mm 總功率:350kw 直流磁控靶功率:20kw 中頻磁控靶功率:10kw |
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