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鎮江市兆麒自動化設備有限公司
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1.概述ZQ-TF3000型真空涂覆設備是一種新型的Parylene真空涂敷裝置，設備外形美觀、新穎，操作直觀方便，具有Parylene材料高溫蒸發、裂解、活性處理、真空鍍膜等功能
1.概述
ZQ-TF3000型真空涂覆設備是一種新型的Parylene真空涂敷裝置，設備外形美觀、新穎，操作直觀方便，具有Parylene材料高溫蒸發、裂解、活性處理、真空鍍膜等功能。該設備采用專用可編程控制器作為控制核心，配置觸摸屏進行人機交互，操作簡便快捷。設備內包括含規口、裂解、倉門、蒸發等工藝的組合加熱腔體裝置、偶聯劑活性處理裝置、帶工裝夾具的真空室裝置，工作臺、風扇、制冷機、羅茨泵等，是一種新型代換原有三防技術的產品。該設備可以適應于微電子、混合電路、電致發光板、各種傳感器、各種換能器、磁性材料、生物醫學、古籍標本保護等各個領域。
主要特點：
·專用可編程控制器作為核心器件
·觸摸屏觸控操作
·內置組合加熱腔體裝置
·獨立的規口、裂解、倉門、蒸發、活性處理、真空工藝
·具有自動旋轉工作臺及定制化工裝夾具
.配置制冷機組、降溫風扇、羅茨泵等抽直空管支路
.自動控制各工藝參數, 自動上下限位保護
.內置5點獨立設置參數控制功能
2.技術指標
2.1 設備技術指標
指標名稱 | 數據范圍及精度 |
真空容積 | 170L |
規口溫度 | 100℃ |
蒸發溫度 | 175℃ |
倉門溫度 | 185℃ |
裂解溫度 | 680℃ |
冷凍機組 | -100℃ |
自動旋轉工作臺 | 30rpm/min |
真空度 | 1x10-6-1x10-5 |
2.2 電源
電壓：380V±10%V
頻率：50±5%Hz
功率：6KW
2.3物理特性
重量：約500Kg
外形：5500px×2000px×3000px
2.4環境條件
工作溫度：0～40℃；
貯存溫度：-40～60℃；
工作濕度上限：90%（40℃）；
貯存濕度上限：90%（50℃）；
其它要求：
避免頻繁振動和沖擊，周圍空氣無酸、堿、鹽等腐蝕氣體。
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