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上海翰軍實(shí)驗(yàn)設(shè)備有限公司


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硫化物CVD系統(tǒng)(一體式）

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產(chǎn)品型號(hào)H-CVD-1200S

品       牌

廠商性質(zhì)其他

所  在  地上海

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更新時(shí)間：2024-08-22 09:48:11瀏覽次數(shù)：65次

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經(jīng)營(yíng)模式：其他

商鋪產(chǎn)品：21條

所在地區(qū)：上海上海

聯(lián)系人：肖經(jīng)理

產(chǎn)品簡(jiǎn)介

一、概述此套系統(tǒng)H-CVD-1200S前端配有可加熱到0-1000℃的蒸發(fā)器，輔助固體源蒸發(fā)，后端為雙溫區(qū)硫化爐，溫度控制精確，操作簡(jiǎn)便

詳細(xì)介紹

一、概述

此套系統(tǒng)H-CVD-1200S前端配有可加熱到0-1000℃的蒸發(fā)器，輔助固體源蒸發(fā)，后端為雙溫區(qū)硫化爐，

溫度控制精確，操作簡(jiǎn)便。左端配有法蘭支撐架固態(tài)蒸發(fā)器器和高溫反應(yīng)區(qū)一起滑動(dòng)。右端可配氣氛

微調(diào)裝置，可以準(zhǔn)確的反應(yīng)腔體內(nèi)部的氣體壓力，帶刻度的調(diào)節(jié)閥對(duì)于做低壓CVD非常實(shí)用，重復(fù)性好；

真空機(jī)組裝有真空粉塵過(guò)濾器以保護(hù)機(jī)械式真空泵不被硫粉塵損壞。整套系統(tǒng)可在1200℃以下的工藝溫

度穩(wěn)定氣相沉積二硫化鉬等二維化合物材料。

二、設(shè)備組成

 HTF-1100蒸發(fā)器，HTF-1200D雙溫區(qū)管式爐(一體式)。

 三、主要技術(shù)參數(shù)

蒸發(fā)器

 

型號(hào)：HTF-1100

工作溫度：室溫-1000℃

溫度：1050℃

升溫速率：30℃/min

推薦升溫速率：10℃/min

控溫方式：智能化30段可編程控制

工作電壓：AC220 V

額定功率：1000W

控溫精度：±1℃

加熱元件：電阻絲

加熱區(qū)長(zhǎng)度（mm）：150mm 

雙溫區(qū)
硫化爐 

型號(hào)：HTF-1200D

技術(shù)參數(shù)：

額定功率(KW):3

額定電壓(V):AC220v  50/60 Hz

溫度(℃):1200（1 hour）

持續(xù)工作溫度(℃）：1100

升溫速率（℃/min）：≤50

爐管尺寸（mm）：

高純石英管Φ50×1500mm

加熱區(qū)長(zhǎng)度（mm）：150/300mm

恒溫區(qū)長(zhǎng)度（mm）:100/120mm  

控溫方式:模糊PID控制和自整定調(diào)節(jié)，智能化30段可編程控制，具有超溫和斷偶報(bào)警功能

控溫精度(℃):±1

加熱元件:電阻絲

配件

配真空粉塵過(guò)濾器，DN25手動(dòng)蝶閥用于控制爐管內(nèi)壓力，防腐型數(shù)顯真空計(jì)，三路混氣系統(tǒng)（可選）

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