EddyCus® map 2530系列在非接觸模式下自動測量大型樣品的薄層電阻，可達300×300平方毫米（12×12英寸）。在手動樣品定位時，該設備會自動測量并顯示整個樣品區域的薄層電阻的準確映射。測量設置允許輕松靈活地在低于 1 分鐘的快速測量時間或超過 10,000 個測量點的高空間測量分辨率之間進行選擇。

詳細介紹

產品特點

產品介紹：

產品特點：

· 非接觸式

· 快速、高重復度測量

· 高分辨率成像

· 300 x 300 mm（12"）的樣品成像測量

· 封裝的導電層的表征

· 軟件集成分析功能，例如電阻均一性分布、線掃描、單點分析

· 測量數據保存和導出功能

· 缺陷識別、分析

產品優勢:

· 非接觸式成像

· 高速 (5 分鐘測量10,000 個檢測點)

· 重復性和精確性

· 高分辨率 (9 – 90,000 個檢測點)

· 封裝后的膜層成像

· 均勻性和缺陷成像

產品參數

測量技術	非接觸式渦流傳感器
基材	晶圓（錠）、玻璃、箔等
限度。掃描區域	12 英寸/300 毫米 x 300 毫米（根據要求更大）
邊緣效應校正/排除	2 – 10 毫米（取決于尺寸、范圍、設置和要求）
限度。樣品厚度/傳感器間隙	3 / 5 / 10 / 15 毫米（由最厚的樣品定義）
金屬薄膜（如鋁、銅）的厚度測量	2 nm – 2 mm (根據薄層電阻)
掃描間距	1 / 2.5 / 5 / 10 / 25 毫米（其他應要求提供）
每次測量點數（方形樣品）	0.5 分鐘 100 個測量點 3 分鐘 10,000 個測量點
掃描時間	8 英寸/200 毫米 x 200 毫米，1 至 10 分鐘（1 – 10 毫米間距） 12 英寸/300 毫米 x 300 毫米，2 至 6 分鐘（2.5 – 25 毫米間距）
設備尺寸 (w/h/d)	31.5" x 19.1" x 33.5" / 785 毫米 x 486 毫米 x 850 毫米
重量	90公斤
更多可用功能	金屬厚度成像、各向異性和薄層電阻傳感器
	VLSR	LSR	MSR	HSR	VHSR
范圍 [歐姆/平方]	0.0001 – 0.1	0.1 – 10	0.1 – 100	10 – 2000	1,000 – 200,000
精度/偏差			± 1%	± 1 – 3%	± 3 – 5%
重復性 (2σ)			< 0.5%	< 1%	< 0.5%