描述
LatticeAx 420是一款高效且精確的晶圓切割設備。作為LatticeAx系列的龍頭產品,其集成了PELCO® LatticeAx®基座和的視覺系統。配置粗細焦距控制的聚焦裝置,具有4μm光學解析度的單筒、共焦、可變焦鏡頭(放大倍率0.58-7x),配色CCD攝像機。、實時圖像捕捉展示軟件以及X-Y移動臺功能。特別適用于快速又精確、能處理多樣化樣品的切割需求。
LatticeAx 優化了手動劃片的流程,最根本的區別體現在它使用高倍數字顯微鏡和精密定位旋鈕來定位目標,精度更高且減少了用戶差異所導致的誤差,同時增加了可重復性,大大提升了工作效率。
LatticeAx采用了容易控制的“解理切割",使得切割過程更為精準,減少了切割誤差。它不需要劃線,是在晶圓表面用金剛石壓頭壓一條長度小于1mm、寬度約10um的淺壓痕,然后沿著壓痕進行解理,這樣不僅可以地保存樣品的原始結構,還可以避免晶圓在切割過程中產生的不必要損傷。采用晶面解理方式,能夠得到更為理想的切口,斷面更光滑,有利于后續的觀察和使用。
LatticeAx 420具備以下核心優勢:
高精度:目標位置可進行精準調校(±10μm),5µm步進的壓痕位置控制,特別適用于需要高精度切割的場合。
可重復:通過光學顯微鏡和精密定位旋鈕實現高精度的重復性過程,降低用戶對操作經驗的依賴性。
快速易學:通過簡單的學習,操作人員就能在5分鐘內完成樣品切割。
操作方便:設計符合人體工程學,操作簡便直觀,占地面積小,對操作環境要求較低。
廣泛應用:配備金剛石壓頭,可切割各種材質和樣品尺寸,應對復雜多樣的切割需求。

