大載重氣浮光學平臺

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更新時間：2023-10-07 08:57:03瀏覽次數：111次

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武漢潛行科技有限公司

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產品簡介

ZHDF系列獨立支撐大載重氣浮隔振光學平臺是采用了獨立氣浮支撐，在重載荷下具有對多個方向的振動特別是垂直方向有著良好衰減效果。

詳細介紹

ZHDF系列獨立支撐大載重氣浮隔振光學平臺

應用領域：

適合于高倍數電子顯微鏡、掃描探針顯微鏡、激光干涉儀、激光共聚焦顯微鏡等領域應用

產品特點：

■潛行科技依托于光電子產業科研工作人員，研發制造的一款通用性隔振光學平臺，能夠滿足精密負載對振動隔離需求，在重載荷下具有對多個方向的振動特別是垂直方向有著良好衰減效果，避免外界振動干擾設備儀器精度，提高儀器設備使用精度和使用效率。

■優異的隔振性能：內置精密空氣彈簧隔振系統，具備優秀的固有頻率，對多個方向的振動尤其是垂直方向有著良好衰減效果，避免外界振動干擾設備儀器精度，提高儀器設備使用精度和使用效率。

■自動調節水平功能：放置負載的位置發生變化，平臺迅速通過高精度閥門自動調整空氣彈簧內部的氣壓，自動保持水平。氣動元器件全部執行德國FESTO產品標準，標配優質壓縮機。

■臺板采用蜂窩芯夾板結構,具有重量輕、高剛度、高阻尼等優點，上面板為1cr17優質高導磁不銹鋼，經精密研磨處理，平面度高，回旋打磨工藝清除毛邊，達到無反射、亞光效果，面板具有M6螺孔陣列，易于固定光學元件。

■隔振支撐為優質鋼管焊接而成，整體堅固可靠。

■工作壓力為0.35～0.6Mpa，標準配置調壓過濾閥將保證空氣彈簧的長期有效工作，用戶只需要將氣管連接進氣口，就能使裝置正常發揮隔振功能，氣源可通過小型空氣壓縮機或氮氣瓶供給，便于在安靜場合使用。

技術指標：

■平面度：< 0.05mm/m2

■表面粗糙度：< 0.8μm
■固有頻率；水平方向：1.5Hz～2.5Hz 垂直方向：1.5Hz～2.5Hz

■減振效率：水平方向＜5Hz時：88%～94% 垂直方向＜5Hz時：86%～92%

水平方向＜10Hz時：92%～98% 垂直方向＜10Hz時：90%～95%

■振幅：< 1μm

■荷載能力：根據臺面重量匹配隔振器規格。

■重復定位精度：±0.05mm

產品選型表：