HFCVD化學氣相沉積金剛石,原理為:將含碳氣氛與過飽和的氫氣混合,經過某種方式活化后通在一定的氣氛組成、 活化能量、襯底溫度以及襯底與活化源之間的距離等條件下,在底表面沉積金剛石薄膜。一般認為, 金剛石膜的形核與生長可以分為三個階段:
(1)含碳氣體和氫氣在一定 的溫度下分解成碳、氫原子和其它活性游離基團,他們與基體結合先形成一層很薄的碳化物過渡層;
(2)碳原子在基體上形成的過渡層上沉積金剛石晶核;
(3)形成的金剛石晶核在適當的環(huán)境下長大成金剛石微品,繼而長大成金剛石薄膜 。
納米涂層優(yōu)勢:
納米金剛石復合涂層拉拔模具,是以硬質合金(WC-Co)為襯底,采用化學氣相法(簡稱CVD法)在模具的內孔表面涂覆常規(guī)金剛石和納米金剛石復合涂層,并對涂層進行研磨拋光后得到的一種全新產品。內孔表面涂覆的納米金剛石復合涂層,既具有常規(guī)金剛石涂層附著力強、耐磨的特點,又具有納米金剛石涂層表面平整光滑、摩擦系數小和容易研磨拋光等優(yōu)點,納米金剛石復合涂層技術,不僅解決了涂層附著力這一技術難題,而且突破了金剛石涂層表面不易拋光這一瓶頸,掃除了CVD金剛石薄膜產業(yè)化的障礙。