飛納電鏡能譜一體機 Phenom ProX 是的集成化成像分析系統。借助該系統,既可觀察樣品的表面形貌,又可分析其元素組分。
研究樣品時,得到樣品的形貌信息只是解決了一半問題。獲得樣品的元素組分信息往往也是非常必要的。借助全面集成、特殊設計的能譜探測器,飛納電鏡能譜一體機 Phenom ProX 可以完善解決上述所有問題。
能譜儀是一種基于樣品被電子束激發而產生 X 射線的分析儀器。Phenom 的能譜儀無論軟件、硬件都是集成設計在飛納電鏡能譜一體機 Phenom ProX 系統中。
Element Identification (EID) 軟件可以使用戶實現多點分析,檢測樣品的元素組分。此外,該軟件還可以擴展到元素分析線面掃(mapping)功能。分步操作界面可以幫助用戶更方便地收集、導出分析數據。
Phenom ProX 主要技術參數
光學放大 | 20 - 135 X |
電子放大 | 150,000 X |
分辨率 | 優于 8 nm @ 10kV |
數字放大 | Max 12 X |
光學導航相機 | 彩色 |
加速電壓 | 5 Kv - 15 Kv 連續可調 |
真空模式 | 標準模式 降低荷電效應模式 |
探測器 | 背散射電子探測器 |
樣品尺寸 | 直徑 32 mm |
樣品高度 | 100 mm |