• 固有頻率:<1.2~2Hz
• 重復定位精度:±0.10mm
• 臺面材料:SUS430高導磁不銹鋼
• 臺面厚度:100/200/250mm
• 平面度:≤0.05mm/m2
• 臺面粗糙度:≤0.8μm,局部可達0.4μm
• 氣浮支架:雙層氣室,3個真空管水平調節閥,四或六支撐腿
• 臺面加支架總高度800mm,總高度可調范圍:-20~+20mm
• 孔間距:25mm(機械打孔)
• 孔徑:M6螺紋孔

型號 | 規格(mm) | 臺面厚度(mm) | 載荷(Kg) |
OP-AI-0906 | 900×600×800 | 100 | 400 |
OP-AI-1208 | 1200×800×800 | 100 | 450 |
OP-AI-1510 | 1500×1000×800 | 200 | 550 |
OP-AI-1512 | 1500×1200×800 | 200 | 550 |
OP-AI-1609 | 1600×900×800 | 200 | 550 |
OP-AI-1812 | 1800×1200×800 | 200 | 600 |
OP-AI-2012 | 2000×1200×800 | 200 | 650 |
OP-AI-2015 | 2000×1500×800 | 200 | 650 |
OP-AI-2412 | 2400×1200×800 | 200 | 800 |
OP-AI-2418 | 2400×1800×800 | 200 | 800 |
OP-AI-2515 | 2500×1500×800 | 200 | 800 |
OP-AI-3012 | 3000×1200×800 | 250 | 1000 |
OP-AI-3015 | 3000×1500×800 | 250 | 1200 |
OP-AI-4015 | 4000×1500×800 | 250 | 1400 |
OP-AI-4515 | 4500×1500×800 | 250 | 1400 |