日本ULVAC CFB-1600復合分子泵技術資料

2016

08-31

11:05:11

 361

來源：上海民儀電子有限公司

一、產品簡介

復合分子泵是靠高速轉動的轉子攜帶氣體分子獲得超高真空的一種機械真空泵，是由渦輪分子泵和盤式牽引泵組合而成，它同時具有渦輪分子泵分子流時抽速大、壓縮比高，牽引泵高壓強時抽速大、壓縮比高的特點，擴展了分子泵的應用范圍，廣泛應用于光伏、照明、航天航空、半導體、能源、*、激光、家電、材料、汽車、科研等真空技術的各個領域。

二、產品特點

復合分子泵對被抽氣體無選擇性、無記憶效應；由于對分子量大的氣體有很高的壓縮比，因此該泵不需要冷阱和捕油擋板即可獲得清潔的高真空和超高真空。

三、主要性能指標

型號		CFB-1600
訂貨號		3155	3156
進氣口法蘭	—	LF250	CF250
排氣口法蘭	—	KF50
抽氣速率	L/s	1600
壓縮比N2/H2	—	1×109/1×104
極限壓強	Pa	5×10-7	8×10-8
電機轉速	rpm	21000
啟動時間	min	＜6
振動值	μm	≤0.15
前極泵	L/s	15
冷卻水溫度	℃	≤20
泵體烘烤溫度	℃	<120
冷卻水流量	L/min	1
加熱器功率	W	<700
加熱器輸入電壓	V	AC220
安裝方向	—	垂直±5°
重量	kg	～39

四、特性曲線及安裝尺寸

CFB系列復合分子泵安裝尺寸表

型號規格	CFB-1600
進氣口法蘭	LF250	CF250
D1	Ф290	Ф305
D2	Ф296	Ф296
D3	□183.8	□183.8
L1	161	161
L2	166	166
H1	394	394
H2	110	110
H3	142.5	142.5
H4	104	104
泵腿螺釘孔	4-M8	4-M8

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日本ULVAC CFB-1600復合分子泵技術資料