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澤攸科技臺階儀JS10B
產品介紹
澤攸科技手動臺階儀JS10B是一款高精度測量設備，采用一體式花崗巖結構設計，確保了測量的穩定性和可靠性。其配備彩色攝像頭，能清晰地觀察樣品和針尖，方便定位并實時監控掃描區域。JS10B的最大掃描長度為55mm，重復性測量偏差不超過0.5nm，適用于晶圓尺寸≤150mm的樣品。此外，它還具備臺階、粗糙度、平整度和翹曲度等多種測量功能，廣泛應用于半導體、微電子等領域。
應用領域
產品組成
突破三大核心技術
產品特色
JS10B臺階儀部分技術指標
名稱 | 詳細參數 |
| 樣品尺寸 | ≤150mm |
| 最大掃描長度 | 55mm |
| 重復性測量偏差 | ≤0.5nm（1μm標準塊重復掃描30次） |
| 探針加力范圍 | 0.5-50mg |
| 垂直分辨率 | 0.05nm滿量程 |
| 掃描分辨率 | 10nm |
| 掃描速度 | 5μm/s-100μm/s |
| 掃描最大采集點數 | 200萬點 |
| 軟件功能 | 臺階、粗糙度、平整度和翹曲度測量 |
案例應用
18nm樣品
68um樣品
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