氣動高真空球閥原理：
氣動真空球閥GUQ是由活塞式氣動執行器和法蘭高真空球閥組成，采用三片式結構，連接為活動式松套真空法蘭，法蘭間采用O形橡膠圈密封，確保真空負壓時無泄漏。氣動真空球閥是適用于真空系統中接通或切斷管路中的介質流。該閥以壓縮空氣為動力，通過控制氣動元件來改變氣路方向，推動活塞齒條、齒輪的機械傳動，以角行程輸出扭矩來驅動球閥作啟閉運動。氣動真空球閥為直通式，靠球面密封，因而既能用在真空狀態下，也能在低壓狀態下使用，并可任意位置安裝。閥座采用聚四氟乙烯材料。可以用于真空負壓或正壓管道上。
氣動高真空球閥GUQ特點：
1、密封結構設計，漏率可達到＜1×10-10Pa.M3/S,改變了球閥不能滿足高真空、超高真空的現狀；
2、開關扭矩小，配置氣動執行器小，工作穩定、可靠；
3、結構緊湊，重量輕，外形簡潔、美觀；
4、該閥既能適用高真空，又能適用一定的正壓力下 使用；
5、由于球閥全通徑，又能達到超高真空要求，所以也能適用于加速器真空系統。
氣動高真空球閥參數：
| 適用范圍(Pa) | 快卸法蘭（KF）2x105 ～1.3x10 -5
活套法蘭16x105～1.3x10 -5 |
| 閥門漏率(Pa.L/S) | ≤1.3x10-5 |
| 介質溫度（℃） | 標準出廠：-30～+150
特殊：-30～+240 |
| 氣源壓力（MPa） | 0.4～0.8 |
| 法蘭標準 | GB4982；GB/T6070 |
| 安裝位置 | 任意 |
| 電源電壓 | 標準出廠：AC220V/50Hz
特殊：AC110V；DC24V；DC12V等 |
| 信號反饋 | 標準出廠：閥位指示器
特殊：微動開關；智能型4～20mA DC；防爆型微動開關 |
| 氣缸可選 | 標準出廠：雙作用式
特殊：單作用式（有彈簧返回）可選常開或常閉 |
快卸法蘭（KF）連接及外形尺寸（GB4982） | 型號 | 通徑(DN) | ΦD | ΦB | H | L | A |
| GUQ-10/KF | 10 | 30 | 40 | 168 | 92 | 146 |
| GUQ-16/KF | 16 | 30 | 17.2 | 154 | 100 | 140 |
| GUQ-25/KF | 25 | 40 | 26.2 | 175 | 114 | 164 |
| GUQ-40/KF | 40 | 55 | 41.2 | 247 | 165 | 210 |
| GUQ-50/KF | 50 | 75 | 52.2 | 282 | 175 | 247 |
活套法蘭（KF）連接及外形尺寸（GB/T6070） | 型號 | 通徑(DN) | ΦD | ΦB | H | L | A | n-ΦC |
| GUQ-10 | 10 | 50 | 40 | 160 | 92 | 146 | 4-6.5 |
| GUQ-16 | 16 | 60 | 45 | 162 | 100 | 146 |
| GUQ-20 | 20 | 65 | 50 | 191 | 114 | 168 |
| GUQ-25 | 25 | 70 | 55 | 191 | 114 | 168 |
| GUQ-32 | 32 | 90 | 70 | 230 | 140 | 204 | 4-9 |
| GUQ-40 | 40 | 100 | 80 | 267 | 165 | 260 |
| GUQ-50 | 50 | 110 | 90 | 289 | 175 | 268 |
| GUQ-63 | 63 | 130 | 110 | 313 | 186 |
| GUQ-80 | 80 | 145 | 125 | 346 | 198 | 298 | 8-9 |
| GUQ-100 | 100 | 165 | 145 | 375 | 220 | 298 |
| GUQ-125 | 125 | 200 | 175 | 444 | 266 | 458 |
8-11 |
| GUQ-150 | 150 | 225 | 200 | 497 | 296 | 525 |
| GUQ-200 | 200 | 285 | 260 | 620 | 390 | 602 | 12-12 |
