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緊湊型流量控制器(Mass Flow Controller)是基于業內的流量傳感器芯片技術,結合高速采樣處理技術和數字補償算法,所開發的一款智能化、高精度可進行準確的質量流量控制的氣體質量流量控制器產品。該產品配備有電磁比例閥、316L不銹鋼氣路座、高精度微機電流量芯片等,具有精度高、響應速度快、穩定性好等特點。操作使用方便,可任意位置安裝,廣泛用于電子工藝設備、真空鍍膜、石油化工、冶金、制藥、光纖熔煉、分析測量儀器、制氣配氣等行業。輸出信號可選擇:4-20mA和1-5V模擬信號,以及RS485等數字通信方式。
半導體加工
分析儀器
燃燒控制器
真空技術
表面處理
食品和制藥
化工(石化)等過程控制
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緊湊型流量控制器產品特點 Feature
溫度和壓力不敏感
*的零點穩定性
超快的響應速度
良好的重復性和再現性
多種信號輸出方式
配備比例電磁閥
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緊湊型流量控制器產品規格
參數說明 | |
介質要求 | 潔凈干燥無腐蝕性氣體 |
介質種類 | 空氣、氮氣、氬氣、二氧化碳、氦氣、氫氣、甲烷、氧氣等 |
量 程 | (0~10,20,30,50,100,200,300,500) SCCM (0~1,2,3,5) SLM |
精 度 | 0-50℃,讀數誤差的1%或滿量程誤差的0.8%,二者取最大值 |
分辨率 | 至低0.01SCCM |
響應時間 | ≤0.7S |
環境條件 | |
介質溫度 | 0~50℃ |
工作溫度 | -20~70℃ |
工作濕度 | 10%~90%RH(無結冰,無凝露) |
工作壓力 | 0~1MPa |
儲存溫度 | -20~85℃ |
電氣參數 | |
供電電壓 | DC24V,紋波 ≤50mV |
功 耗 | 2.4W |
啟動時間 | <1s<> |
預熱時間 | <10ms<> |
通信接口 模擬信號(電流、電壓) | |
接口類型 | D-SUB 9針 |
電流信號 | 4-20mA (線性對應量程) |
電壓信號 | 1-5V (線性對應量程) |
數字信號(RS485) | |
接口類型 | RJ45、D-SUB 9針 |
通信速率 | 4800,9600(默認),14400,19200,38400,56000,57600,115200, 128000,230400,256000,460800,500000(可通過指令或者上位機修改) |
協 議 | RS485(默認Modbus-RTU,可定制私有協議) |
設備地址 | 1(默認)-250(可通過指令或者上位機修改) |
大節點數 | 250 |
機械參數 | |
接頭類型 | 卡套:8mm、12mm、 3/8 inch,快插:6mm,8mm,其它可選 |
主體材質 | 底座:316L不銹鋼,外殼:碳鋼 |
密封材質 | FKM氟橡膠 |
重量 | 0.75kg |
尺寸圖 Dimension
安全使用
產品用于有害氣體或爆炸性氣體時,須嚴格按照產品使用說明或咨詢公司技術人員。有關產品應用的新信息,請與廠家聯系索取或訪問公司網站。強腐蝕性或氟化物氣體可能影響產品正常工作,甚至對產品造成毀損。產品經過密封處理并在裝箱前進行過防漏試驗,在高壓下使用必須按照產品使用說明的限制,否則會導致泄漏及安全問題。
注意:未經公司許可,任意改動或不當使用本產品可導致不可預見的損壞、人員傷害及其它有害后果,公司將不負任何責任。
產品保修
產品必須在說明書規定的正常工作條件下,嚴格按照正確的方法安裝、使用并維護保養。產品質量保證期,從發貨之日起提供365天免費保修。維修或更換的產品,保修期為 90 天或延續原保修期(以更長者為準)。
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1)產品被改變、改裝、處于說明書規定的(或之外的)不正常環境及其它任何可被視為非正常使用的情況;
2)非本公司原裝產品。
對于產品拆封后的包裝箱體、填充材料、防靜電袋等廢棄物,請按照紙張、塑料和其他垃圾進行分類處理。對于達到使用壽命的產品,請參照國家對電子電器產品的相關報廢規定進行處理。
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