當(dāng)前位置：上海雋思實(shí)驗(yàn)儀器有限公司>>>>清潔烤箱，無(wú)塵烤箱

清潔烤箱，無(wú)塵烤箱

返回列表頁(yè)

參考價(jià)

面議

具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)

產(chǎn)品型號(hào)

品牌

廠商性質(zhì)其他

所在地上海

在線詢(xún)價(jià) 收藏產(chǎn)品查看聯(lián)系電話

化工機(jī)械設(shè)備網(wǎng)采購(gòu)部電話：0571-88918531QQ:2568841715

聯(lián)系方式：查看聯(lián)系方式

更新時(shí)間：2025-02-25 11:57:00瀏覽次數(shù)：9次

聯(lián)系我時(shí)，請(qǐng)告知來(lái)自化工機(jī)械設(shè)備網(wǎng)

產(chǎn)品分類(lèi) 品牌分類(lèi)

暫無(wú)信息

上海雋思實(shí)驗(yàn)儀器有限公司

經(jīng)營(yíng)模式：其他

商鋪產(chǎn)品：236條

所在地區(qū)：

詢(xún)價(jià) 給他留言

產(chǎn)品簡(jiǎn)介

一、清潔烤箱，無(wú)塵烤箱簡(jiǎn)述無(wú)塵烤箱用于IC生產(chǎn)過(guò)程中極為重要的光刻工藝中預(yù)烘烤（軟烘），脫水烘烤，涂膠后的堅(jiān)膜烘烤（硬烘）；也適用于電子液晶顯示、LCD、CMOS、OLED、醫(yī)藥、實(shí)驗(yàn)室等生產(chǎn)及科研部門(mén)

詳細(xì)介紹

一、清潔烤箱，無(wú)塵烤箱簡(jiǎn)述

無(wú)塵烤箱用于IC生產(chǎn)過(guò)程中極為重要的光刻工藝中預(yù)烘烤（軟烘），脫水烘烤，涂膠后的堅(jiān)膜烘烤（硬烘）；也適用于電子液晶顯示、LCD、CMOS、OLED、醫(yī)藥、實(shí)驗(yàn)室等生產(chǎn)及科研部門(mén)。

二、清潔烤箱，無(wú)塵烤箱原理
無(wú)塵烤箱配備HEPA過(guò)濾器，以保持爐腔無(wú)顆粒。 HEPA過(guò)濾器（高效微粒捕獲）現(xiàn)在是電子和平板顯示器潔凈室組裝的主要過(guò)濾系統(tǒng)，或任何需要減少或去除亞微米微粒的應(yīng)用。 HEPA過(guò)濾器具有隨機(jī)定位的微玻璃纖維的深床，其中與平均纖維直徑和自由路徑橫截面的有效孔相比，總床深度（過(guò)濾器的厚度）非常大。

通過(guò)HEPA過(guò)濾器的氣體必須流過(guò)的通道不是直的，而是非常曲折的。隨著顆粒對(duì)纖維的影響并粘附在纖維上，通道變得更小并且過(guò)濾器的效率提高。無(wú)塵烤箱以及LCD行業(yè)的特殊輸送爐中使用這些過(guò)濾器。為了保護(hù)過(guò)濾器不會(huì)在烤箱中過(guò)熱，實(shí)施了用于過(guò)濾器的特殊保護(hù)系統(tǒng)。 HEPA過(guò)濾器在正常條件下保持其在烤箱中的效率一至數(shù)年。 HEPA不需要任何清潔或維護(hù)來(lái)保持這種效率。無(wú)塵烤箱用于半導(dǎo)體行業(yè)。

三、清潔烤箱，無(wú)塵烤箱特點(diǎn)

1、用于烘烤非光敏聚酰亞胺（PI）的清潔烤箱，在干凈的環(huán)境中處理集成的HEPA過(guò)濾器。溫度高達(dá)350°C 溫度。氧氣可以保持<>自定義。

2、可以提供與PC的數(shù)據(jù)耦合，這允許長(zhǎng)期數(shù)據(jù)存儲(chǔ)以及統(tǒng)計(jì)過(guò)程控制SPC，配方管理和過(guò)程可視化。

3、強(qiáng)制送風(fēng)循環(huán)方式，雙風(fēng)道循環(huán)結(jié)構(gòu)，溫度場(chǎng)分布均勻，智能P.I.D溫控系統(tǒng)，從而得到高精度溫度控制。

4、可實(shí)現(xiàn)智能化生產(chǎn)要求。SECS / GEM是用于設(shè)備到主機(jī)數(shù)據(jù)通信的半導(dǎo)體設(shè)備接口協(xié)議。在自動(dòng)化工廠中，接口可以啟動(dòng)和停止設(shè)備處理，收集測(cè)量數(shù)據(jù)，更改變量并為產(chǎn)品選擇配方。
四、無(wú)塵烤箱，智能無(wú)塵烤箱基本參數(shù)
1、溫度范圍：RT-200/450℃;
2、溫度均勻度：±2℃;
3、溫度波動(dòng)度：±0.5℃；
4、溫控精度：±0.1℃;
5、潔凈度：100/10級(jí)的潔凈熱處理HEPA過(guò)濾器與前出風(fēng)水平層對(duì)流循環(huán)方式實(shí)現(xiàn)并保證箱內(nèi)的溫度分布的均勻性與潔凈度。