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張家港普瑞倫半導體設備有限公司
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● 高過濾精度、低壓力損失在保持本公司以往產品PGF系列的高過濾性能的基礎上，實現了低壓力損失。外形尺寸與以往的PGF系列相同，處理能力達到了原來的約兩倍。● 蝕刻和薄膜形成時必*高選擇性在追求高選擇性的過程中，極其重要的一點是去除水、氧氣等不純物的問題。為了切實地做到去除不純物，首先必*，是在高溫狀態下進行烘烤。從該觀點出發研制出的陶瓷過濾器可進行200℃的高溫烘烤。● 零維護實現成本削減能夠根據粒子粒徑大小分階段進行過濾的三層結構，因此幾乎不會有堵塞的問題。并且與以往的過濾器相比，具有高耐久性、高耐熱性特征的陶瓷過濾器不會在使用過程中出現故障。所以不會因生產線暫時中斷而帶來經濟損失，并可長期持續地削減成本。
蜂窩狀構造部件 過濾精度0.003μm 推薦流量20～400L/min
● 高過濾精度、低壓力損失
在保持本公司以往產品PGF系列的高過濾性能的基礎上，實現了低壓力損失。外形尺寸與以往的PGF系列相同，處理能力達到了原來的約兩倍。
● 蝕刻和薄膜形成時必*高選擇性
在追求高選擇性的過程中，極其重要的一點是去除水、氧氣等不純物的問題。為了切實地做到去除不純物，首先必*，是在高溫狀態下進行烘烤。從該觀點出發研制出的陶瓷過濾器可進行200℃的高溫烘烤。
● 零維護實現成本削減
能夠根據粒子粒徑大小分階段進行過濾的三層結構，因此幾乎不會有堵塞的問題。并且與以往的過濾器相比，具有高耐久性、高耐熱性特征的陶瓷過濾器不會在使用過程中出現故障。所以不會因生產線暫時中斷而帶來經濟損失，并可長期持續地削減成本。
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