高純氮氣純化裝置

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產品型號DCZ

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所在地蘇州市

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更新時間：2023-05-06 16:42:12瀏覽次數：88次

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蘇州市高普超純氣體技術有限公司

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產品簡介

詳細信息▲采用催化和化學吸附工藝聯用，進行氮氣純化，也可用于氬氣純化

詳細介紹

詳細信息

▲采用催化和化學吸附工藝聯用，進行氮氣純化，也可用于氬
    氣純化。
  ▲采用催化劑，純化深度高，抗原料氣波動能力強
   （200%）。非消耗型填料，使用壽命長。
  ▲進口潔凈管道、閥門，Swagelok全自動軌道焊，內加熱
    拋光反應器，全面保證產品質量。
  ▲集約化箱體包裝，全自動運行。
    應用領域：
  ▲高純單晶硅、晶片外延、大規模集成電路、光電生產等電子
    行業氣體終端純化。
  ▲氣體行業超純氣體生產、分析零點氣制備。
  ▲鋼鐵、石化行業氮氣純化。

型號 Type	原料氣 Inlet	產品氣 Outlet（ppm）
型號 Type	原料氣 Inlet	純度	O₂	H₂O	CO₂	H₂	CO	CH₄
UDC-3	≥99.999%	≥99.99999%	≤0.01	≤0.01	≤0.01	≤0.01	≤0.01	≤0.01
UDC-2	≥99.98%	≥99.9999%	≤0.1	≤0.1	≤0.1	≤0.1	≤0.1	≤0.1
UDC-1	≥98%	≥99.999%	≤1	≤1	≤1	——	——	——