SEA5100采用Si Li半導體檢測器，使之測量分辨率大大提高，彌補了用比例計數管檢測時有些元素難以區分的不足，配備有小型準直器,不僅可以進行元素分析，也可測量鍍層厚度,與薄膜FP法配合使用時,可以不使用標準樣品，就可以進行元素分析及鍍層測量。標準配備有Windows2000中文操作界面，采用檢量線法和FP法，測量數據與Word和Excel鏈接，自動生成報告和數據處理，2個準直器可自動切換，工作臺3維電動，可編程進行自動測量

利用微小的X射線束流來進行微小的異物分析
雖然從微小的異物得到的信號量不隨照射異物的X射線束流大小而改變，但是從底材得到信號隨著束流的減小而減小，相對來說，從異物得到的信號跟底材的比增強。于是，微小的X射線束流在進行微小的異物和樣品時，發揮著重要的作用。

方便簡單的多點分析和成像
利用多彩的掃描方法，自動的測量樣品的表面，簡單明了的表示出2維或者3維的元素分布，膜厚組成分布等的成像。

鮮明的樣品畫像和定性分析對比表示
通過光亮的照明和倍率切換，可以得到擴大90倍的畫像，可以清楚的觀察到微小的部分，通過鼠標和操縱桿，可以自由自在的移動樣品，利用標有準直器尺寸的十字線，來不斷的確認和調整需要分析部分的位置。
通過電鍍部分和材質的能諳對比，確認曲線重合部分的元素的同時，正確的設定測量條件。

自動完成分析報告
分析測量結束后，點擊輸出報告的按鍵，便自動的啟動報告編輯軟件。自動的表示出測量條件，樣品圖像，能譜，X射線強度，分析數據等。以此為基礎進行編輯，可以簡單的完成數據詳細、具有說服力的分析報告。

自動完成分析報告

如果以A來表示含有異物分的能譜、以B來表示正常
部分的能譜、那么A-B表示的差就是能譜差異。中心
線在邊界的正方向表示出來的曲線是異物的成分，
在負方向表示出來的曲線是素材的成分。利用這個
能譜的差異，可以簡單的同定出異物。
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