用場合 · 半導體材料、器件、印刷電路板和集成電路; · 超純材料和超純化學試劑; · 實驗室和中試車間 · 汽車、家電表面拋光處理; · 其他高科技精微產品。詳細介紹電子級超
純水系統
水質符合美國ASTM標準,電子部超純水水質標準(18MΩ*cm,15MΩ*cm,2MΩ*cm和0.5MΩ*cm四級)
●預處理-反滲透- 水箱-陽床-陰床-混合床-純化水箱-純水泵-紫外線殺菌器-精制混床-精密過濾器-用水對象
●預處理-一級反滲透-加藥機(PH調節)-中間水箱-第二級反滲透(正電荷反滲膜)-純化水箱-純水泵-紫外線殺菌器-0.2或0.5μm精密過濾器-用水對象
●預處理-二級反滲透-中間水箱-水泵-EDI裝置-純化水箱-純水泵-紫外線殺菌器-0.2或0.5μm精密過濾器-用水對象
●預處理-二級反滲透-中間水箱-水泵-EDI裝置-純化水箱-純水泵-紫外線殺菌器-精制混床-0.2或0.5μm精密過濾器-用水對象 (新工藝)
應用場合
· 半導體材料、器件、印刷電路板和集成電路;
· 超純材料和超純化學試劑;
· 實驗室和中試車間
· 汽車、家電表面拋光處理;
· 其他高科技精微產品。
●預處理-反滲透- 水箱-陽床-陰床-混合床-純化水箱-純水泵-紫外線殺菌器-精制混床-精密過濾器-用水對象
●預處理-一級反滲透-加藥機(PH調節)-中間水箱-第二級反滲透(正電荷反滲膜)-純化水箱-純水泵-紫外線殺菌器-0.2或0.5μm精密過濾器-用水對象
●預處理-二級反滲透-中間水箱-水泵-EDI裝置-純化水箱-純水泵-紫外線殺菌器-0.2或0.5μm精密過濾器-用水對象
●預處理-二級反滲透-中間水箱-水泵-EDI裝置-純化水箱-純水泵-紫外線殺菌器-精制混床-0.2或0.5μm精密過濾器-用水對象 (新工藝)
應用場合
· 半導體材料、器件、印刷電路板和集成電路;
· 超純材料和超純化學試劑;
· 實驗室和中試車間
· 汽車、家電表面拋光處理;
· 其他高科技精微產品。
電子超純水設備一般工藝流程:
(水質符合美國ASTM標準,電子部超純水水質標準(18MΩ*cm,15MΩ*cm,2MΩ*cm和0.5MΩ*cm四級)
典型工藝2:原水→預處理→反滲透→EDI→精密過濾→用水點
·預處理-反滲透-中間水箱-水泵-混合床-純化水箱-純水泵-紫外線殺菌器-精制混床-精密過濾器-用水對象
·預處理-一級反滲透-加藥機( PH調節)-中間水箱-第二級反滲透-純化水箱-純水泵-紫外線殺菌器-0.2或0.5 μ m精密過濾器-用水對象
·預處理-反滲透-中間水箱-水泵- EDI裝置-純化水箱-純水泵-紫外線殺菌器-0.2或0.5 μ m精密過濾器-用水對象
·預處理-反滲透-中間水箱-水泵- EDI裝置-純化水箱-純水泵-紫外線殺菌器-精制混床-0.2或0.5 μ m精密過濾器-用水對象