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上海爾迪儀器科技有限公司


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YAMATO等離子清洗機PDC210

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更新時間:2023-07-08 14:43:35瀏覽次數:99次

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產品簡介

詳細介紹

詳細信息

儀器簡介:

研究開發用等離子清洗機

用途:

CSB/BGA/COB基板的等離子處理
有機膜和金屬氧化膜的除去
印刷電路基板的干洗
界面活性處理



技術參數:
型號PDC200PDC210PDC510
模式RIE模式(DP選配)DP模式DP/RIE切換方式
電極構造平行平板電極(固定)
高頻輸出功率MAX300W               Max 500W
頻率13.56MHz
控制方式自動聯動,液晶觸摸屏控制
反應室尺寸400×250×150mm500×300×200
電極尺寸250×170mm400×200mm
反應室材質                                    一次性一體成型鋁腔(防腐蝕,可對應CF4
反應氣體2系統(Ar/O2
填充氣體N2/潔凈干燥空氣
反應氣體流量控制流量計聚合控制器
真空泵另行選配油回旋真空泵(排氣量345L/min)油回旋真空泵(排氣量500L/min)
氣體導入口反應氣體2套,填充氣體1套
外型尺寸540×600×600mm540×600×600mm700×700×700mm
電源單相AC100V 15A 50/60Hz                                     三相AC100V 15A 50/60Hz







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