QMG 700 分析質譜儀

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產品簡介

QMG700分析質譜儀QMG700的一些變體將于2018年1月31日停止使用質量范圍1024amu和2048amu質量范圍16amu和340amu離子光學系統QMG725系統超越檢測極限且達到優異的穩定性和細微的分辨率半導體制造技術的快速發展有賴于靈敏而可靠的氣體分析解決方案

詳細介紹

QMG 700 分析質譜儀

QMG700分析型質譜儀.jpg

QMG 700的一些變體將于2018年1月31日停止使用

質量范圍1024 amu和2048 amu
質量范圍16 amu和340 amu
離子光學系統
QMG 725系統

超越檢測極限且達到優異的穩定性和細微的分辨率

半導體制造技術的快速發展有賴于靈敏而可靠的氣體分析解決方案。在工廠或實驗室中，選擇 INFICON QMG 700 分析質譜儀以突破檢測極限，推動工藝創新，提升工藝水平。QMG 700 的模塊化設計帶來的性能和適應性。利用 QMG 700 增強競爭優勢，獲得出眾的測量能力。

根據具體的應用要求，選擇配制合適的離子源、濾質器和射頻電源，可量身定制QMG 700。QMG 700有超過九個數量級的動態測量量程，達到ppb 檢測量級，這種優勢使其成為超高真空測量的理想選擇。QMG 700 對整個質量范圍都有很高的分辨率，對較低的質量可獲得更高的分辨率。對于某些挑戰性的測量應用，如同位素分析，氦和氘分離等，QMG 700是的選擇。QMG 700 出色的長期穩定性可保證關鍵性的測量，有效控制您的工藝。

INFICON 在分析質譜儀領域五十多年的歷史和的技術，確保QMG 700 成為進行氣體分析的正確選擇。依賴 INFICON QMG 700 以及我們享譽世界的應用專長，您可獲得始終如一的高精度測量數據。

功能

質量范圍選擇為 1-2048 amu
超過九個數量級的動態量程
極快的測量速度：0.125 ms/amu
MDPP < 10E-16 mbar
涵蓋整個質量范圍的高分辨率：質量 1、2 和 3 可在 ppb 范圍內清晰地分離
超過 10 個不同的離子源和離子光學組合
離散或連續倍增電極電子倍增器選件
用于正負離子以及中性粒子分析的離子計數前置放大器
IO 選項：8 個模擬輸入/輸出和 32 個數字輸入/輸出
軟件功能強大，靈活實用且具友好的用戶界面

典型應用

Gas discharge mass spectrometry
End point detection
Deposition material monitoring
Secondary ion mass spectrometry

規格

類型	QMA 400	QMA 410	QMA 430
質量范圍	1-2048 amu (1)	1-340 amu (2)	1-300 amu
傳感器長度	441.5 mm	548 mm	441.5 mm
桿直徑	8 mm	16 mm	8 mm
桿材料	Molybdenum	Molybdenum	Stainless Steel
法蘭	DN 63 CF-F	DN 100 CF-F	DN 63 CF-F
檢測器類型	Faraday/SEV 217	Faraday/SEV 217	Faraday/SEV 217
Z大工作壓力 (FC)	1 E-4 mbar	1 E-4 mbar	1 E-4 mbar
Z大工作壓力 (EM)	1 E-5 mbar	1 E-5 mbar	1 E-5 mbar
靈敏度	5 E-4 A/mbar	1 E -3 A/mbar	2 E-4 A/mbar
Z小可檢測分壓	1 E-15 mbar	5 E-16 mbar	1 E-15 mbar
分辨率（可調）	0.3 - 7 amu	0.2 - 2.2 amu	0.3 - 7 amu
分壓比	< 0.5 ppb	< 0.5 ppb	< 0.5 ppb
Z高工作溫度傳感器	150 °C	150 °C	150 °C
Z高烘烤溫度	400 °C	400 °C	400 °C
Z高工作溫度電子單元	40 °C	40 °C	40 °C
測量速度	0.125 ms - 60 s/amu	0.125 ms - 60 s/amu	0.125 ms - 60 s/amu
電源	100 - 240 VAC	100 - 240 VAC	100 - 240 VAC

(1) QMA 400 的可檢測質量范圍為：1-512 amu、1-1024 amu、1-2048 amu。

QMA 400 的規格基于 512 amu 質量范圍、聚焦離子源系統配置

(2) QMA 410 的可檢測質量范圍： 1-16 amu、1-128 amu、1-340 amu。

QMA 410 的規格基于 128 amu 質量范圍、聚焦離子源系統配置

零件號

QMA 400
零件號	明細
490-709
490-710	QMA 400 with axial Ionenq.
490-711	QMA 400, 8mm Mo,217, W, CB
490-712	QMA 400 mit CB-IQ, MAG
490-713	QMA 400, 8mm Mo,217, CB-GT
490-721	QMA 400 mit CB_Ionenq. gasd.
490-722	QMA 400 m. CB-IQ, Y-Kat., Mag. isol.
490-755
490-756	QMA 400, 8mm Mo, UF6
490-756-2	QMA 400, 8mm Mo, UF6 Untested Assembly
490-769	QMA 400, SEM 217, crossbeam, Yt, 2LO
490-770	QMA 400 mit CB-Ionenq.gasd., spezial
490-772	QMA 400 with Axial Ionenq, W
BKM07627
PTM07736	QMA 400 mit Crossb.-Ionenq.
QMA 410
零件號	明細
490-811	QMA 410 Cross Beam IS w/ Magnet
490-813	QMA 410, CB-IQ Gas-Tight with Magnet
490-816	QMA 410,16mm Mo,217, W, CB
QMA 430
零件號	明細
490-911	QMA 430, 8mm SS,217, W, CB
490-911/S	QMA 430, 8mm SS,217, W, CB
490-912	QMA 430, 8mm SS,217, W, CB-GT
490-921	QMA 430, 8mm SS,217, W, CB (GIA)