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深圳市瀚信德制冷科技有限公司
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應用行業：半導體制造，光電電子，平板，射頻微波，衍射光學，微機電系統，凹凸或覆晶設備和其他要求精細印制和精度對準的冷卻系統機組類型：箱型風冷式冷水機、箱型水冷式冷水機、開放式冷水機
【曝光機專用冷水機】是我司專為紫外線曝光機配套設計的一款高性能瀚信德品牌優質工業冷水機組，大多客戶因廠房條件限制一般采用風冷散熱形式最多，由于機型小所需散熱風量比較小可直接放在車間使用，當然如果客戶不希望【曝光機專用冷水機】的散熱風影響車間環境溫度，也可以接足夠大尺寸的風管將曝光機冷水機散熱風以最近的距離排到室外也可。
偶爾有的客戶會需要水冷式結構或風冷分體結構（這兩種需要客戶廠房外有地方放冷卻水塔或室外機組才可），機型一般也不大，使用1P、2HP、3匹、5P【曝光機專用冷水機】居多。
紫外線曝光機內部冷卻系統一般用直冷式和間冷式兩種
直冷式一般因要配置棉芯過濾器需要配置高揚程高壓力的水泵和過水部件均需要使用304不銹鋼材質以確保水質和循環水流量能達到要求；
間冷式因曝光機內部已經配置用板式交換器循環水泵與保溫水箱，對曝光機專用冷水機的要求就比較低些。
能瀚信德品牌優質曝光機專用冷水機在半導體制造，光電電子，平板，射頻微波，衍射光學，微機電系統，凹凸或覆晶設備和其他要求精細印制和精度對準的冷卻系統中用著廣泛應用。
紫外線曝光機是指通過開啟燈光發出UVA波長的紫外線，將膠片或其他透明體上的圖像信息轉移到涂有感光物質的表面上的設備。
UV燈構造
帶托盤的晶片工作臺
配CCD鏡頭的顯微鏡
監視器
掩膜夾具
UV燈透鏡
UV燈鏡片
UV燈電源系統
操作控制器
350W UV燈
晶片臺
基底尺寸 標準尺寸 至4英寸；可選至6英寸；
托盤 標準尺寸 至4英寸；可選至6英寸；
活動范圍：X：10mm Y： 10mm Z ： 10mm Theta： 4 degree
擠入補償 Air bearing型
Z軸滑動 手動
真空泵 無油真空泵
掩膜臺
掩膜夾具類型 真空吸附和機械夾取
均勻光束大小 4.25“ X 4.25“
支持接近式曝光，各種接觸式（真空接觸、軟接觸、硬接觸等）曝光
接觸式曝光特征尺寸：
0.35 um@深紫外DUV：
0.5um@近紫外NUV；
0.6um@紫外UV；
接近式曝光特征尺寸：
1um @ Gap為20 um；
2um @ Gap為50 um；
紫外線曝光機用途
更廣范圍（UV，DUV，NUV）的紫外光波長選擇，出射光強范圍: 8mW/cm2~40mW/cm2
支持恒定光強或恒定功率模式
廣泛應用于半導體、微電子、生物器件和納米科技領。
常見曝光機舉例：MYCRO美國制造的恩科優（N&Q）紫外曝光系統，適用于從特殊大小的基片到4尺寸很寬廣范圍材料的紫外或深紫外光曝光。NXQ400-6系統成功地應用于半導體制造，光電電子，平板，射頻微波，衍射光學，微機電系統，凹凸或覆晶設備和其他要求精細印制和精度對準的應用。
一、概述
二、瀚信德品牌高品質風冷式曝光機專用冷水機組又名
三、瀚信德品牌高品質風冷式曝光機專用冷水機組的電器自控部分
四、風冷式工業曝光專用冷水機組的結構組成與特點
1、風冷式曝光機冷水機組一般為整體機，及蒸發器、壓縮機和冷凝器做在一起。五、風冷式曝光專用冷水機的工作原理！詳情請點擊查看參考風冷式冷水機工作原理
六、瀚信德高品質曝光專用冷水機配置簡介
七、瀚信德高品質曝光專用冷水機組特點
八、瀚信德高品質曝光專用冷水機報價
九、瀚信德曝光專用冷水機組 售后服務
十、瀚信德品牌優質風冷式曝光專用冷水機技術參數請點擊查看參考【風冷式冷水機參數】。
十一、瀚信德品牌優質水冷式/開放式/風冷式曝光專用冷水機技術參數請聯系我們索取，我們將謁誠為您服務。
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