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Teledyne API臭氧發生器

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產品型號SCI-552

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更新時間:2023-02-23 20:30:40瀏覽次數:97次

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產品簡介

Teledyne API臭氧發生器SCI-552SCI-552是臭氧輸送系統的控制器,能夠為很多系統部件提供電氣控制界面,包括:臭氧發生器、EV閥、質量流量計、背壓控制器、TAPI452臭氧傳感器、 TAPI 470 溶解臭氧傳感器和水冷卻器。

詳細介紹

Teledyne API臭氧發生器SCI-552

SCI-552是臭氧輸送系統的控制器,能夠為很多系統部件提供電氣控制界面,包括:臭氧發生器、EV閥、質量流量計、背壓控制器、TAPI452臭氧傳感器、 TAPI 470 溶解臭氧傳感器和水冷卻器。


Teledyne API臭氧發生器SCI-552基于軟硬件特點,提供了很多系統聯鎖功能,它靈活性高,允許用戶通過前面板用戶界面、MODBUS串行接口或各種離散型數字和模擬輸入來控制整個系統。SCI-552能夠支持兩臺臭氧發生器并提供兩條獨立的臭氧輸出渠道。



  • RS-232 MODBUS遠程支持
  • *多控制2臺臭氧發生器Teledyne API臭氧發生器SCI-552
  • *多與2臺452和470臭氧測量儀器交互
  • *多控制4臺質量流量控制器
  • *多控制2臺背壓控制器
  • *多控制2個EV閥
  • *多控制1臺水冷卻器
  • 系統聯鎖輸入
  • 遠程系統級別控制和狀態輸入/輸出

  • 化學氣相沉積(CVD)Teledyne API臭氧發生器SCI-552
  • 原子層沉積(ALD)
  • 氧化物生長
  • 表面處理
  • 灰化
  • 粒子清潔
  • 光刻膠去除
  • 其他


更多Teledyne API臭氧發生器SCI-552信息請直接致電埃登威上海

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