Teledyne API水冷臭氧發生器OG-5000
OG-5000系列臭氧發生器是為滿足半導體工業中對高濃度潔凈臭氧的需求而設計的,可應用于化學氣相沉積、原子層沉積、氧化物生長和濕法處理過程中。產品:微量氧分析儀,藥品殘氧儀,露點儀,熱導氣體分析儀,GE流量計,OX-1氧傳感器,頂空分析儀,紅外氣體分析儀,高溫濕度儀,西門子U23分析儀,ppb微量水分析儀,OXY.IQ氧分析儀,煙氣濕度儀,燃氣熱值儀,Kaye溫度驗證儀,L&W白度,儀激光氧分析儀,壓縮空氣露點儀,干燥機露點儀,激光氣體分析儀,便攜式露點儀,便攜式微量氧分析儀,Fei (維修中心,代表處,總代理,分公司,子公司,售后中心,銷售中心,上海辦,辦事處)
OG-5000系列設計緊湊,使用水冷系統,能夠簡便的整合進TAPI的臭氧系統控制器、臭氧泄露探測器、臭氧濃度監測器和臭氧破壞器中。該儀器經過驗證的技術使得它可廣泛應用于半導體流程中。
Teledyne API水冷臭氧發生器
- 高純度臭氧
- 高臭氧濃度
- 價格低
- 無消耗品
- 設計緊湊,模塊化
- 經過驗證的技術
Teledyne API水冷臭氧發生器OG-5000
- Teledyne API水冷臭氧發生器應用
- 半導體
- 化學氣相沉積 (CVD)
- 原子層沉積 (ALD)
- 氧化物生長
- 表面處理
- 粒子清潔
- 光刻膠去除
- 灰化
- 其他
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