安裝及調(diào)試日本CKD小型流量傳感器
FSM2-NVF100-H041技術(shù)資料
吸收FSM系列的優(yōu)勢并實現(xiàn)了更大的進步。
繼承了優(yōu)異的應(yīng)答性，量程最擴大到了1000L/min。
采用雙畫面和雙色顯示，并搭載自動參考功能，操作便利性大幅度提高。
此外，實現(xiàn)了雙向測量，注入了新價值。
流量量程增大
保持大流量，結(jié)構(gòu)小型化
實現(xiàn)雙向流體測量
精度提高 不超過±3%FS
在以往的流量量程（0.5、1、5、10、20、100 L/min）之上增加
了2、200、500、1000 L/min四個類型。
雙畫面顯示和雙色顯示功能
流量欄表示功能
、應(yīng)用于各種領(lǐng)域中
小型流量感測器可以用在機械、汽車、計量儀器、精密儀器等領(lǐng)域和半導(dǎo)體、
生物等領(lǐng)域以及醫(yī)療、食品領(lǐng)域等上，用途非常廣泛多樣。
適用流體
感測器的用途
自動參考功能
高速應(yīng)答 不超過50msec
利用表示一體型設(shè)計，通過設(shè)置主畫面和輔助畫面，提高了操作
的靈活性。
而且，利用雙色顯示，發(fā)生異常時一看便知。
在表示分離型中，通過流量欄表示，可以一目了然地掌握目標(biāo)流
量。
通過按鈕操作或者外部輸入，可以自動獲取開關(guān)輸出的設(shè)定值。
避免了繁瑣的設(shè)定過程。
通過采用了硅微細(xì)加工技術(shù)白金感測器小片，實現(xiàn)了高速應(yīng)答。
有助于縮短間隔時間。
流量量程為500、1000 L/min這兩個類型，是以往體積的30%。
實現(xiàn)了行業(yè)的小型化。
各種泄露檢查
針孔檢查
離子化器的吹掃氣體確認(rèn)
焊接氣體的管理
吹掃氣體的流量管理
落座確認(rèn)
吸附確認(rèn)
可以直接測量泄露流
量。即便是微壓，由于
輸出與針孔成正比，
因此也可以用來判斷
有否故障、確認(rèn)狀態(tài)
情況。
可處理的流量量程大。
內(nèi)嵌速控器型（特別訂購品）可
以輕松對流量進行控制。
有助于設(shè)備的小型化、輕量化。
表示一體型、雙向型可以任意設(shè)置流向進行測量。
管線安裝的自由程度得到了很大提高，同時還可以用來探測逆流。
精度達到了±3%FS，實現(xiàn)了更為準(zhǔn)確的流量測量。
可處理的流量量程大。
①與壓力感測器不相上下的高速應(yīng)答（應(yīng)答由管線的內(nèi)容積、壓力等決定）
②由于是通過流量探測的，因此不存在因壓力的變化而引起的調(diào)節(jié)、誤檢情形。
③可以探測出噴嘴或過濾器的孔口堵塞。
④通過流量探測，可以有效管理傾斜吸附等吸附錯誤。
利用壓力感測器時有時差壓過小而無法判別，此
時根據(jù)流量可以準(zhǔn)確地進行判別。
激光激發(fā)器、半導(dǎo)體制造裝置的N2氣體管理
處置的流量量程大。
內(nèi)嵌速控器型（特別訂購品）可以
輕松對流量進行控制。
生活工業(yè)
食品、醫(yī)療
液晶
汽車
半導(dǎo)體
電子零組件
機械制造
汽車等
各種泄露檢查
離子化器的流量管理
焊接氬、碳酸氣的流量管理
涂裝氣體的流量管理
吹掃氣體的流量管理
吸附確認(rèn)
與壓力感測器相比較（噴嘴直徑為Ф0.3、真空壓力為-70kPa時）
小型流量感測器（使用FSM2-※010時） 壓力感測器
落座確認(rèn)
流量差 ：830mL/min
吸附 吸附
一目了然
壓力差 ：2kP
FSM系列
FSM2系列
是以往體積的
30%
（1000 L/min類型）
詳情請參閱P29
正方向 雙向 反方向
詳情請參閱P25
詳情請參閱P25
詳情請參閱P28
流量欄表示
流量單位
主畫面（顯示瞬時流量）
<雙色顯示>
輔助畫面（流向等）
機型種類 尺寸
超小型、輕量 高速應(yīng)答 開關(guān)輸出 模擬輸出 大流量型
反方向
雙向
正方向
分離型 一體型
主體材質(zhì)
保持感測器性能，實現(xiàn)防范故障于未然。
頁碼
目錄No.
頁碼
應(yīng)答速度 顯示器 材質(zhì) 輸出方
此產(chǎn)品的安裝調(diào)試方式
水平安裝 ( 使用貫通孔 )
托座安裝 ( 使用專用托座 )
垂直安裝 ( 使用底面內(nèi)牙 )
連接口徑：單觸φ4、φ6、φ8、φ10
Rc1/8、Rc1/4、M5
單個托座型號：FSM2-LB1
連接口徑：Rc1/2
單個托座型號：FSM2-LB2
水平安裝 ( 使用貫通孔 )
托座安裝 ( 使用專用托座 )
垂直安裝 ( 使用底面內(nèi)牙 )
連接口徑：單觸φ4、φ6、φ8、φ10
Rc1/8、Rc1/4、M5
單個托座型號：FSM2-LB1
連接口徑：Rc1/2
單個托座型號：FSM2-LB2
安裝及調(diào)整時
連接連接器后請務(wù)必安裝連接器防護罩。
直接電纜的引出部位及連接器部不要形成壓力。
請停止控制裝置、機械裝置后，在切斷電源的狀態(tài)
下進行布線。如果使裝置過快運行有時裝置會進行
異常動作，這樣非常危險。請先使控制裝置、機械
裝置保持停止?fàn)顟B(tài)進行通電試驗，并進行開關(guān)數(shù)
據(jù)設(shè)定。操作前、操作中請將人體、工具、裝置所
帶的靜電充分放電后進行操作。活動部請使用類似
機器人用線材的具有耐屈曲性能的線材進行連接布
線。請不要超過電源電壓范圍使用。如果施加超過使用
范圍的電壓或交流電源，則可能導(dǎo)致本產(chǎn)品破裂或
燒毀。
本產(chǎn)品及布線設(shè)置時請遠離強電線等嗓音源。電源
線產(chǎn)生的浪涌請另行采取措施。有時顯示或輸出會
有變動。
負(fù)荷請不要短路。因為可能導(dǎo)致本產(chǎn)品破裂或燒
毀。
金屬主體(不銹鋼主體、鋁主體)型用電源請使用與
交流一次端絕緣的DC穩(wěn)定電源，F(xiàn).G.連接電源
側(cè)的＋側(cè)或－側(cè)的某一側(cè)后使用。為防止感測器的
絕緣損壞，金屬主體型的內(nèi)部電源回路和金屬主體
之間連接有變阻器(限制電壓約40V)。金屬主體型
的內(nèi)部電源回路和金屬主體之間不要實施耐電壓試
驗和絕緣電阻試驗。需要實施這些試驗時請將布線
拆下后實施。電源和金屬主體之間的過大電位差會
燒毀內(nèi)部零組件。此外，金屬主體型的本產(chǎn)品設(shè)置、
連接、配線后，裝置、機架的電焊或短路事故的焊
接電流或焊接時過渡性高電壓、浪涌電壓等會導(dǎo)致
與連接上述元件間的回路、接地線或流體回路產(chǎn)生
電壓泄露，最后使電線或元件損壞。請在全部拆去
主機或電線F.G.連接后進行電焊等操作。
金屬主體利用OUT側(cè)釋放使用時也請務(wù)必連接接
頭。否則可能導(dǎo)致孔口過濾器脫落。
如果使用單觸接頭，則插入管子，在確認(rèn)管子不能
拔出后再使用。此外，管子請務(wù)必使用專用切刀切
成直角后使用。
QQ:2568841715
