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上海馭潔凈化設備有限公司
超高效過濾器特點△采用全自動生產工藝,安全可靠,運行效果穩定;△捕集率高,容塵量大;△每一臺ULPA出廠前都經過嚴格的檢測
超高效過濾器特點
△ 采用全自動生產工藝,安全可靠,運行效果穩定;
△ 捕集率高,容塵量大;
△ 每一臺ULPA出廠前都經過嚴格的檢測。
用途
¤ 超LSI制造工廠、半導體制造工廠、原子力研究中心、高潔凈等級無塵室、層流設備等要求超高潔凈度的場所。
外形尺寸(mm)寬*高*深 額定風量 m³/h 容塵量 (g) 面風速 m/s 初阻力 Pa 終阻力 Pa 效率 0.1-0.2μm 610*610*50 470 450 0.35 ≤170 400 99.9995% 610*610*70 600 650 0.45 610*610*90 800 800 0.6 915*610*50 1750 950 0.35 915*610*70 900 950 0.45 915*610*90 1200 1200 0.6 1170*570*70 1300 1300 0.45
注:尺寸可根據客戶要求定做。
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