? ULTRA QV404 是實現了世界測量精度E1XY=(0.25+L/1000)μm 的超高精度CNC 影像測量系統。
? 為了將直線度誤差控制至最小,X、Y、Z3軸移動方式采用了高精度三坐標等使用的空氣軸承。
? 通過FEM (有限要素法) 解析后的設計實現了本體的高剛性化。
? 作為基準的測長方式采用了分辨力為0.01μm的光學式線性編碼器。該編碼器的線性膨脹系數為零,將溫度變化產生的誤差控制到最小限度。
超高精度玻璃光柵尺在三豐公司的清原工廠地下車間生產。
ULTRA QV404PRO規格
| ULTRA QV 404 |
測量范圍 (X×Y×Z) | 400×400×200mm |
放大倍率轉換系統 | PPT1X-2X-6X |
分辨力 | 0.01 µm |
長度測量裝置 | 線性編碼器 |
影像測量方法 | CCD 照相機 |
測量精度*1 *2 | E1X, E1Y | (0.25+L/1000)µm |
E1Z | (1.5+2L/1000) µm (測量范圍: 200mm) (1.0+2L/1000) µm (測量范圍: 10 - 60mm) |
E2XY | (0.5+2L/1000)µm |
LAF重復精度*3 | σ= 0.4µm |
照明裝置 *4 | 同軸照明/ 透射照明/ 程控環形照明 |
工作臺玻璃尺寸 | 493×551mm |
臺面承重 *5 | 40kg |
尺寸 (W×D×H) | 1172×1735×1910mm |
重量 ( 包括機器設置臺 ) | 約 2150kg |
*1 L = 任意2 點之間的尺寸(mm)
*2 依據三豐公司的檢查方法。
*3 于帶LAF 的機型。
*4 冷光源照明用鹵素燈泡和光纖
*5 不包括的載重、集中載重。