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威海智泰精密測量儀器有限公司


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日本三豐超高精度全自動影像測量儀

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產品簡介

?ULTRAQV404是實現了世界測量精度E1XY=(0.25+L/1000)μm的超高精度CNC影像測量系統

詳細介紹

? ULTRA QV404 是實現了世界測量精度E1XY=(0.25+L/1000)μm 的超高精度CNC 影像測量系統。
? 為了將直線度誤差控制至最小,X、Y、Z3軸移動方式采用了高精度三坐標等使用的空氣軸承。
? 通過FEM (有限要素法) 解析后的設計實現了本體的高剛性化。

? 作為基準的測長方式采用了分辨力為0.01μm的光學式線性編碼器。該編碼器的線性膨脹系數為零,將溫度變化產生的誤差控制到最小限度。


超高精度玻璃光柵尺在三豐公司的清原工廠地下車間生產。

ULTRA QV404PRO規格

ULTRA QV 404
測量范圍 (X×Y×Z)400×400×200mm
放大倍率轉換系統PPT1X-2X-6X
分辨力0.01 µm
長度測量裝置線性編碼器
影像測量方法CCD 照相機


測量精度*1 *2
E1X, E1Y(0.25+L/1000)µm
E1Z(1.5+2L/1000)   µm   (測量范圍:   200mm) (1.0+2L/1000) µm (測量范圍: 10 - 60mm)
E2XY(0.5+2L/1000)µm
LAF重復精度*3σ= 0.4µm
照明裝置 *4同軸照明/ 透射照明/ 程控環形照明
工作臺玻璃尺寸493×551mm
臺面承重 *540kg
尺寸 (W×D×H)1172×1735×1910mm
重量 (   包括機器設置臺 )約 2150kg
*1 L = 任意2 點之間的尺寸(mm)
*2 依據三豐公司的檢查方法。
*3 于帶LAF 的機型。
*4 冷光源照明用鹵素燈泡和光纖
*5 不包括的載重、集中載重。


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