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文特斯儀器(上海)有限公司


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高純度壓力傳感器

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產(chǎn)品型號

品       牌

廠商性質(zhì)其他

所  在  地上海市

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更新時間:2023-11-02 09:36:44瀏覽次數(shù):95次

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產(chǎn)品簡介

說明及特點: - 接液部分依據(jù)SEMI F19標(biāo)準(zhǔn)電拋光,表面粗糙度Ra≤0.13μm- 99%氦檢漏測試,并在潔凈室內(nèi)完成真空包裝- 精度0.1%BFSL(含線性,遲滯以及重復(fù)性)- 多種VCR接頭可選,包括內(nèi)螺紋,外螺紋,固定螺紋以及活動螺紋

詳細(xì)介紹

產(chǎn)品精度:        0.15%BFSL @25℃ (含線性,遲滯以及重復(fù)性)

壓力范圍:        0...30psi - 0...5000psi (含真空)

壓力:        2倍滿量程

長期穩(wěn)定性:    0.25%FS/年

溫漂系數(shù):        0.25%FS/10℃ (-20...+85℃)

氦檢漏測試:    <1*10-9 mbar L/S

響應(yīng)時間:        <1.5mS

輸出信號:        4-20mA 2線

供電電壓:        10-30VDC

介質(zhì)溫度:        -20 ... 140℃

防護(hù)等級:        IP67

傳感器材質(zhì):    17-4PH

接頭材質(zhì):        316LSS

電氣接口:        M12*1 (4針)

過程接口:        9/16"-18UNF 內(nèi)螺紋,外螺紋,固定螺紋,活動螺紋

接液粗糙度:    Ra≤0.13μm(典型值) Ra≤0.18μm(值)

防爆認(rèn)證:        Ex na IIC T4/T5/T6 Gc

EMC/EMI          EN61326-1:2013, EN61326-2-3:2013



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