粉碎設備 混合設備 分離設備 濃縮結晶設備 傳質設備 干燥設備 反應設備 換熱設備 制冷設備 空分設備 儲存設備 鍋爐|加熱設備 包裝機械 輸送設備 化工實驗室設備
北京麥迪森科技有限公司
北京麥迪森科技有限公司
等離子體修飾系統，通過氧氣輔助化學氣相沉積技術，在藍寶石襯底上外延生長了大尺寸、高質量的單層二硫化鉬薄膜
等離子體修飾系統，通過氧氣輔助化學氣相沉積技術，在藍寶石襯底上外延生長了大尺寸、高質量的單層二硫化鉬薄膜。在生長過程中引入氧氣，不僅能夠有效的阻止三氧化鉬源中毒，降低形核密度，而且還能減小硫空位密度，從而實現了大尺寸單晶單層二硫化鉬的生長。
利用等離子體修飾系統，在自限生長的前提下，目前已實現了兩英寸晶圓級高質量單層二硫化鉬的外延生長（99%覆蓋度，成膜均勻），并通過改進轉移設備，實現了晶圓級薄膜的且襯底無損轉移。單層二硫化鉬薄膜均勻覆蓋在整個藍寶石襯底上，而且沒有縫隙，沒有重疊層。 薄膜由晶粒尺寸為 1 微米，相對取向為 60 o的晶粒拼接而成。成型薄膜只包含 60 o晶界。
等離子體修飾系統產品優勢
1、有效避免固態源中毒；
2、成膜均勻性好；
3、成膜面積大；
4、快速、生長速度可控。
以上就是為您介紹的等離子體修飾系統產品，如果想要了解更多產品
信息請咨詢（微信同號）。
您感興趣的產品PRODUCTS YOU ARE INTERESTED IN
化工機械設備網 設計制作，未經允許翻錄必究 .? ? ?
請輸入賬號
請輸入密碼
請輸驗證碼
