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PicoFemto手動探針臺系統

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產品簡介

PicoFemto手動探針臺系統

詳細介紹

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PicoFemto手動探針臺系統,可定制手動探針臺系統，整套系統包配置有探針臺主體、顯微鏡、針座、探針線纜、探針等配置如下：

探針臺主體

- 可測試晶圓尺寸：大4英寸

- 樣品臺行程：100mm*100mm

- 移動分辨率：~0.1mm

- 樣品臺旋轉范圍：360度

- 超低漏電底柵接口，標準Triax輸出

- 可選400度高溫樣品臺

顯微鏡

- 舜宇三目連續變倍體視鏡，LED環形照明

- 光學變倍總倍率45倍，物鏡0.7~4.5倍連續變倍

- 可選配高清攝像頭，總放大倍率約700倍

針座

- 磁性吸附底座，XYZ移動范圍：12mm

- 移動分辨率2um

- 標配4個，多可裝6個

探針線纜

- 超低漏電探針設計，漏電流低于100fA

- Triax標準接口輸出，Keithley原裝低噪聲Triax線纜

探針

- 超低漏電探針設計，針尖直徑標配10um，小1um

尺寸和自重

- 尺寸：450mmW*450mmD*500mmH

- 自重：約30Kg


以上就是提供的手動探針臺系統配置介紹，關于價格問題可以直接咨詢。

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PicoFemto探針臺產品介紹


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