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上海續(xù)波光電技術(shù)有限公司


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直流磁控濺射鍍膜系統(tǒng)

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品       牌

廠商性質(zhì)其他

所  在  地上海

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更新時間：2022-10-14 12:28:44瀏覽次數(shù)：184次

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商鋪產(chǎn)品：87條

所在地區(qū)：上海上海

產(chǎn)品簡介

關(guān)鍵詞：鍍膜、金屬膜、Al,Ti,Cr,Ni,Cu,Au,Nb,W,Pd,Pt,Mo可在導(dǎo)體或絕緣體上濺射任何薄膜氣路：Ar氣路配搭MFC陰極：3個4英寸直流磁控管

詳細(xì)介紹

關(guān)鍵詞：鍍膜、金屬膜、Al, Ti, Cr, Ni, Cu, Au, Nb, W, Pd, Pt, Mo

       

 

可在導(dǎo)體或絕緣體上濺射任何薄膜

 

氣路：Ar氣路配搭MFC

 

陰極：3個4英寸直流磁控管，一個加強(qiáng)磁控管用于Ni，一個6英寸磁控源

 

靶材： Al, Ti, Cr, Ni, Cu, Au, Nb, W, Pd, Pt, Mo

 

直流電源：200mA-1A（1千瓦功率）

 

襯底偏置：等離子刻蝕，20-250W（RF ）

 

樣品臺：可接納4個4英寸襯底，襯底可旋轉(zhuǎn)

 

真空泵：前級泵+低溫泵

 

全自動、半自動、手動模式

 

支持遠(yuǎn)程維護(hù)和操作


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