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上海續波光電技術有限公司


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12英寸大面積專用離子減薄儀（MU700）

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更新時間：2022-10-14 12:19:52瀏覽次數：87次

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產品簡介

關鍵詞：RIE、RIBE、反應離子束刻蝕、CAIEB、化學輔助離子束刻蝕、過渡金屬、磁性材料、MRAM、GMR、TMR、Pt、Cu、TeGe、PZT型號：MU700S;產地：歐洲

詳細介紹

關鍵詞：RIE、RIBE、反應離子束刻蝕、CAIEB、化學輔助離子束刻蝕、

                過渡金屬、磁性材料、MRAM、GMR、TMR、Pt、Cu、TeGe、PZT

 

型號：MU700S;    產地：歐洲；  

應用：過渡金屬, PZT, 磁性材料(MRAM, GMR, TMR), Pt, Cu, TeGe 等;

 

代表性用戶：法國科學研究中心（CNRS）、意法半導體（ST）

 

RFICP源：束徑可達 220 mm

 

采用分子泵或低溫泵+干泵組合真空系統

 

均勻性：+/- 5%  on 290 mm襯底

 

水冷樣品臺，襯底尺寸可達直徑300mm

 

樣品臺可以傾斜和旋轉

 

配套SIMS用于刻蝕監控

 

配置Load Lock

 

控制系統：全自動控制，半自動和手動模式可用
              支持多級用戶權限設置和管理
              支持設備遠程操作、監控、診斷和維護
              系統自動報警及定位故障

 


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