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上海續波光電技術有限公司


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MPCVD 設備用于金剛石單晶生長及摻雜研究（研發型）

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產品型號

品       牌

廠商性質其他

所  在  地上海

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更新時間：2022-10-12 11:47:53瀏覽次數：100次

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所在地區：上海上海

產品簡介

關鍵詞:MPCVD

詳細介紹

關鍵詞: MPCVD, MWCVD, MPACVD, MPECVD, CVD金剛石、微波等離子體化學氣相沉積系統
 
             CVD金剛石合成設備、納米晶金剛石、超納米晶金剛石、UNCD、NCD、MCD、

 

              Microwave Plasma Assited/Enhanced Chemical Vapor Deposition System
 
            超高 純度單晶、半導體、 摻雜、B-doping、N-doping、藍鉆、 粉鉆、黃鉆

 

型號：BJS150， 產地：歐洲

主要技術指標：

微波發生器：6 KW, 2.45GHz，脈沖功率模式可選

                  Ripple 2% at full power,

                  stability 1% at full power.

 

鐘罩型腔體：非常適合生長單晶和摻雜。 

                  支持高功率密度等離子體

工藝氣壓：高達300mbar或更高 
生長速率：高達50μm/h 

 

氣      路：4條基本氣路，分別為H2, O2, CH4, Ar;

               可以最多增加額外3條氣路

 

樣 品 臺：適合兩英寸襯底，高度精密可調，襯底旋轉可選

溫度測試：采用雙色紅外高溫計，范圍475℃-1475℃

              精度  ≤±10℃。

 

真空系統：采用分子泵+干泵

               真空度≤5×10-7mbar

               漏率 ≤10-9 mbar/l/s.

控制系統：配套有全自動控制系統、工業電腦、必要的數據接口及操作軟件；

              支持多級用戶權限設置和多用戶管理，系統支持設備的遠程操作和維護；
              系統含故障報警及定位功能，能及時提示相應故障部件。
              支持半自動和手動操作模式。
 
設備應用：具備多種用途，以滿足用戶科研需要；
             適合生長雜質濃度低于1ppb的超高純度單晶，且有大量專業科技文獻佐證；
             適合金剛石摻雜（硼、磷等）研究及光學級多晶窗口生長。
 
工藝培訓：原廠工程師現場演示金剛石生長，包括種子選擇、種子預處理、
              種子的固定及生長工藝等培訓，并現場演示單晶生長；

 

              原廠需具有高水平和豐富的金剛石生長工藝經驗。

 

      


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