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行業(yè)產(chǎn)品

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上海續(xù)波光電技術有限公司


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MEB800S離子束輔助沉積光學鍍膜系統(tǒng)（Ion beam assisted deposition）

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品       牌

廠商性質(zhì)其他

所  在  地上海

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更新時間：2022-10-09 12:36:07瀏覽次數(shù)：89次

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經(jīng)營模式：其他

商鋪產(chǎn)品：87條

所在地區(qū)：上海上海

產(chǎn)品簡介

關鍵詞：電子束蒸鍍、熱蒸鍍、離子束輔助沉積、高真空鍍膜設備、光學監(jiān)控系統(tǒng)、OMS、金屬膜、氧化膜、IBAD、IBD、光學薄膜、紫外、紅外膜、增透膜、增反膜、二氧化硅/鋁復合膜熱蒸發(fā)源：多個電子束蒸發(fā)源：多坩堝高真空系統(tǒng)：低溫泵+干泵

詳細介紹

關鍵詞：電子束蒸鍍、熱蒸鍍、離子束輔助沉積、高真空鍍膜設備、光學監(jiān)控系統(tǒng)、OMS、 金屬膜、

              氧化膜、IBAD、IBD、光學薄膜、紫外、紅外膜、增透膜、增反膜、二氧化硅/鋁復合膜

 

 

熱蒸發(fā)源：多個

 

電子束蒸發(fā)源：多坩堝

 

高真空系統(tǒng)：低溫泵+干泵，真空度＜10-7 Torr

 

樣品臺：可接納4個6英寸襯底

 

膜厚檢測系統(tǒng)：多個晶振檢測探頭

沉積速率分辨率：0.01A/s

 

離子束輔助沉積

 

光學監(jiān)控系統(tǒng)：多個探頭、多波段。

監(jiān)控范圍：220nm-2200nm

高精度鍍膜

 

電腦控制：全自動軟件


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