閥門操作

ATV1000排氣節流閥，MKS型653和253排氣節流閥及其他

壓力輸入信號

標準0-10Vdc

輸入功率要求

90-132或180-264 VAC, 50/60 Hz

設置點

可編程的

外部模擬

總共5個，可在任何組合中編程，用于壓力或閥位置

（可從前面板調節或從前面板旋轉RS232設定、TTL或RS232）

0-10VDC

控制器重復性

±0.1% F.S

環境運行溫度

15℃ - 45℃

輸出功率

±15 VDC ±5% @ 1.5 Amp

模擬量輸出信號

0 - 10vdc用于0-100  %閥門位置,0 - 10vdc用于1-100  %滿量程壓力

尺寸

1/2機架安裝:88mm 寬 x 241mm 長 x 225 高

顯示

LCD(壓力、位置和外部設定點讀數)

顯示單位

Torr, mTorr, mbar, Pascal, cmH20, inH20, mbar, kpa 標準

PID控制

標準

遠程零點

標準

接口

前面板設置，模擬，TTL和RS232，（RS-485選項）

繼電器輸出

2個過程繼電器: 24 Volts AC/DC 0.5Amp 電阻

遠程控制

（打開、關閉、保持）

標準

位置控制能力

標準