1、膜厚儀專用SRP-4面銅探頭是CMI563/CMI700專用的表面銅測試探頭，SRP-4面銅探頭由探針和探頭線組成，探針使用壽命輕松達(dá)到30萬次，當(dāng)探針使用達(dá)到后，只需要更換探針即可，無需更換整條線組，大大的降低了客戶使用成本。

2、參數(shù)：

精確度：化學(xué)銅：標(biāo)準(zhǔn)差0.2%，電鍍銅：標(biāo)準(zhǔn)差0.3%

分辨率：0.1μm≥10μm，0.01μm<10μm，0.001μm<1μm，0.01mils≥1 mil，0.001mils<1mil

厚度測量范圍：化學(xué)銅：0.25μm–12.7μm（10μin–500μin）

電鍍銅：2.5μm–254μm（0.1mil–10mil）

線性銅線寬范圍：203μm–7620μm（8mil–300mil）。