紫外線殺菌燈是汞燈的一種，其燈管內部的激發態汞原子在躍遷時可以發出不同波長的特征。紫外線波長在100nm-400nm，人的眼睛不能看到紫外線。100-400nm波長的紫外線，按其對人體的影響及功能，分為UV-A，UV-B，UV-C和V-UV.

UV-C的波長在200-280nm，其中有254nm波段可以有效破壞微生物，如細菌，病毒的DNA分子結構，達到殺菌的目的。波長在100-200nm的VUV185nm能產生臭氧，而臭氧也可以起到殺菌，除味的效果，185nm波長還可以分解水中的有機物分子，產生氫氧，自由基，并最終將水中有機物分子氧化為二氧化碳，達到去除TOC的目的。

紫外線燈管使用壽命在9000到13000小時，需要與專業的鎮流器配套使用才能保證燈管的使用壽命和效率。直接暴曬在強烈的紫外光線下會使皮膚或眼睛有灼傷，因此在維護紫外線殺菌燈的時候，要有相關的防護措施。