UV光氧利用特制的高能UV紫外線光束照射惡臭等廢氣，裂解廢氣的裝置。其反應原理為：在高能紫外線（代表波長為185nm）的作用下，一方面空氣中的氧氣被裂解產生臭氧；另一方面高能紫外線將污染物質的化學鍵斷裂，使之形成游離態的原子或基團；同時產生的臭氧參與到反應過程中，使廢氣最終被裂解氧化成CO2、H2O等穩定的化合物。

光催化是利用光催化劑在紫外線（代表波長為254nm）照射下具有的氧化還原能力而凈化污染物。當半導體光催化劑納米粒子受到大于禁帶寬度能量的光子照射后，電子從價帶躍遷到導帶，產生了電子-空穴對，電子具有還原性，空穴具有氧化性，空穴與氧化物半導體納米粒子表面的-OH反應生成氧化性很高的•OH，活潑的•OH可以把許多難降解的有機物氧化為CO2、H2O等無機物。

由于TiO2催化劑價格低廉，來源廣泛，對紫外光吸收率較高，抗光腐蝕性北學穩定性和催化活性高，且沒有毒性，對很多有機物有較強的吸附作用，因而成為各類試驗研究中zui常用的光催化劑。為了提高催化劑的活性和適應不同類型的廢氣處理，也經常添加一些貴金屬鉑、鈀、釕和過渡族元素的氧化物以及稀土元素的氧化物等作為催化劑。