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日本東麗toray半導體制造設備氧氣計LC-450D
日本東麗toray半導體制造設備氧氣計LC-450D
測量原理 | 氧化鋯輕型電池 | ||
形狀 | 桌面型/面板安裝型 | ||
顯示方式 | 4位數字顯示(密度顯示) | ||
測量范圍 | 0-1 / 10/100 / 1000PPM / 1/10 / 100體積%氧氣2 10 -20?10 -0 ATM自動范圍 | ||
重復性 | 在±1%FS 0-1ppm之內,大氣壓范圍超出了保證的濃度范圍 | ||
取樣方式 | 內置泵的連續吸入型 | ||
樣氣條件 | 壓力 | 加壓30 KPa以下 | |
流量 | ?1,500L /分鐘 | ||
濕度 | 露點低于環境溫度 | ||
溫度 | 0-50℃ | ||
其他 | 不包含腐蝕性氣體(基于氟的氣體,基于氯的氣體,基于硫化物的氣體等),包含有機硅的氣體,可燃成分(包括氣體),油和水。 | ||
比較氣 | 大氣層 | ||
記錄儀 | 氧氣濃度輸出 | 0-10VDC,絕緣,負載電阻600kΩ或更高 | |
輸出范圍 | 0-100,0-1000ppm,0-100ppm,0-10ppm自動/固定范圍 | ||
變速箱輸出 | RS-232C | ||
報警輸出 | 失敗(設備錯誤) | 1分 | 非電壓接點,接點容量30VDC / AC或以下,0.5A或以下 |
ALM(濃度警報) | 2點(L / LL) | 非電壓接點,接點容量30VDC / AC或以下,0.5A或以下 | |
RDY(預熱信號) | 1分 | 非電壓接點,接點容量30VDC / AC或更小,0.5A或更小
| |
MRK(范圍標記)輸出 | 2分 | 非電壓接點,接點容量30VDC / AC以下,0.5A以下 | |
熱身時間 | 5分鐘以內 | ||
尺寸 | 身體 | 240(W)x 134(H)x 210(D)mm(不包括突起) | |
大眾 | 約5kg | ||
氣體 | 進口 | Rc1 / 8 | |
旁路輸出 | Rc1 / 8 | ||
出口 | Rc1 / 8 | ||
使用電源 | 24VDC±10%,1.25A(30VA,穩態) |
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