日本JFC精密陶瓷粉碎介質高純度氧化鋁微珠

氧化鋁（Al₂O₃）

氧化鋁（Al₂O₃）是精密陶瓷中z常用的材料。我司供應純度為99.5%和99.9%的產品。

• 電絕緣性
• 耐磨耗性
• 耐熱性
• 耐腐蝕性
• 耐等離子性

主要用途

• 半導體制造設備部品（腔體部件、絕緣法蘭盤、蝕刻設備部件、晶圓夾盤）
• 粉碎機部件（分級機、氣流式粉碎機、珠磨機）
• 一般產業用部件（激光加工機噴嘴、轉軸、軸承）
• 高精度用，精密用，耐熱用冶工具（定位治具、裝配夾具）
• 耐磨耗部件（拉絲機導向輥、鋼絲通道、導軌）
• 電絕緣部件（絕緣子、墊片、襯套）

特點

氧化鋁是白色或乳白色的陶瓷，利用其優異的電絕緣性能，早期開始即應用在電子部品上，使用量較多，是精密陶瓷中成本z低的材質。
我司供應純度為99.5%和99.9%的高純度產品。高純度類型氧化鋁的機械強度高、耐腐蝕性優異，可生產大型產品。
此外，由于其具有優異的耐等離子特性，也可用于ＣＶＤ設備或蝕刻設備的部件。

日本JFC精密陶瓷粉碎介質高純度氧化鋁微珠

氧化鋁

熱膨脹系數為RT～200℃時的測量數據。