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曝光機設(shè)備ZKUE-552

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更新時間：2021-05-21 11:24:27瀏覽次數(shù)：204次

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聯(lián)系人：段啟海

產(chǎn)品簡介

曝光機設(shè)備專門用于FILM黃光制程而設(shè)計制作的設(shè)備，系統(tǒng)采用進口平行光源、雙工位抽屜進出曝光平臺交替工作進行FILM濕膜、干膜曝光。雙工位平臺真空吸附將FILM與MASK貼緊，曝光解析度20UM。

詳細介紹

曝光機設(shè)備


一、設(shè)備概述

曝光機設(shè)備專門用于FILM黃光制程而設(shè)計制作的設(shè)備，系統(tǒng)采用進口平行光源、雙工位抽屜進出曝光平臺交替工作進行FILM濕膜、干膜曝光。雙工位平臺真空吸附將FILM與MASK貼緊，曝光解析度20UM。

二、設(shè)備規(guī)格以及主要技術(shù)指標(biāo)

◆產(chǎn)品規(guī)格:有效曝光面積400MM x 500MM

曝光平臺面積> 500MM x 600MM

◆電源: AC380V 3f 50HZ 7KVA
◆機臺外尺寸: W1350MM x L3250MM x H2350MM
◆曝光方式:單面曝光玻璃VS玻璃x 2組，采用電磁鎖控制
◆曝光燈管: 5KW x 1PCS(平行光曝光燈)曝光光強> 20MW/Cm，燈管保用800H
◆光學(xué)系統(tǒng):采用進口曲面MIRROR反射光學(xué)系統(tǒng)
◆曝光均勻度: > 90%
◆冷卻系統(tǒng):燈管:外部冰水冷卻內(nèi)循環(huán)水.臺面:強制氣冷式
◆曝光控制器:智慧型人機界面及曝光能量控制(能量模式及時間模式)
◆真空系統(tǒng): 400MMHG以上
◆冷水系統(tǒng):冰水7-12C流量60L /MIN,進出水管徑1"

◆燈源: UV能量積分器進行曝光能量設(shè)置和控制主動風(fēng)冷式降溫保護(有緊急

停止保護)

◆空壓系統(tǒng): 4-7KF/CM2,中12MM, 200L /MIN
◆平行半角: DA<2。
◆曝光精度:線路寬30UM，線間距30UM
◆曝光能量設(shè)置: 365NM
◆點燈計時:配置時間計時器，可清零
◆平臺平面精度: 0.02MM內(nèi)
◆平臺真空:平臺真空將FILM與MASK貼緊(使用鉻版時可不用）
◆平臺進出曝光區(qū):上下框架交替進出
◆機內(nèi)環(huán)境: CL ASS100內(nèi)
◆檢測系統(tǒng):程序及傳感器檢測動作到位狀況
◆燈管保護:燈室過熱檢知及門打開時UV燈強制熄滅


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