自動供酸系統（CDS）/蘇州尚純

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更新時間：2020-07-30 16:27:34瀏覽次數：782次

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蘇州尚純半導體設備有限公司

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產品簡介

自動供酸系統（CDS）
設備用途：本系統主要用于濕法刻蝕清洗等工序需要使用的刻蝕液集中進行配送，經管道配送至設備；具有自動化程度高、配比精確、操作簡便等特點，而且具有良好的耐腐蝕性。
適用對象：HF、HNO3、KOH、NH4OH、NaOH、H2SO4、HCL、H2O2、IPA等
控制模式：手動控制模式、自動控制模式

詳細介紹

自動供酸系統（CDS）

設備用途：本系統主要用于濕法刻蝕清洗等工序需要使用的刻蝕液集中進行配送，經管道配送至設備；具有自動化程度高、配比精確、操作簡便等特點，而且具有良好的耐腐蝕性。

適用對象：HF、HNO3、KOH、NH4OH、NaOH、H2SO4、HCL、H2O2、IPA等

控制模式：手動控制模式、自動控制模式

項目	數據
基本規格	設備形式：室內放置式溫度：23±1℃ 濕度：53±5% 機臺封面：聚丙烯瓷白PP板材（厚度≥10mm）機臺主體強度結構：整體骨架表面噴涂處理Or China SUS 矩形材機臺視窗：透明、抗靜電透明PVC（厚度≥5mm）
選配模塊	一用一備或單桶式具備循環過濾功能，科更具客戶要求配多組循環、過濾系統當其中一支桶內藥液用完時，自動切換至另外一個藥液桶具備化學液的取樣監測功能可結合客戶端通訊協定資料存儲、CIM系統、資料分析存儲建立管理
排風系統	排風強勁合理設計，為了排風效果達到要求，排風通道內設有風量導流板，為了方便操作人員及時根據情況調節排風量，操作人員可小范圍調節機臺排風背板上的可拆卸式排風口再配合機臺視窗上的可調節進氣模塊，從而達到使用效果
機臺特點	化學品集中持續不斷的供應，多點分配設有防氣泡裝置，防止因氣泡影響配液精度可同時防置兩個20L/50L200L的化學桶化學品大輸出流量：≤60L/min 定時補充藥液或定量補充藥液，參數均可在觸摸屏上進行設定多級別用戶工藝數據庫，可供用戶使用和存儲作業區內有害氣體多種安全主動及被動保護相結合，保證操作人員作業環境及人身安全客制化設計能力佳，搞設計能力滿足客戶制程工藝需要
制程控制	PLC控制方式
操作界面	全圖形化中文彩色人機界面（10.4彩屏）
設備制造	蘇州尚純半導體設備有限公司