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蘇州尚純半導體設備有限公司
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有機溶劑清洗機
制程應用：有機溶液剝離工藝、去光阻清洗工藝、去膠清洗工藝、ACE清洗工藝、ICP清洗工藝、去蠟清洗工藝燈
控制模式：手動控制模式、自動控制模式
有機溶劑清洗機
制程應用：有機溶液剝離工藝、去光阻清洗工藝、去膠清洗工藝、ACE清洗工藝、ICP清洗工藝、去蠟清洗工藝燈
控制模式：手動控制模式、自動控制模式
項目 | 數據 |
適用對象 | 硅片 2-12inch 25Pcs/cassette 1 cassette/Batch Or 2 cassette/Batch 藍寶石晶片2-6inch 25Pcs/cassette 1 cassette/Batch Or 2 cassette/Batch 砷化鎵晶片2-6inch 25Pcs/cassette 1 cassette/Batch Or 2 cassette/Batch 碳化硅晶片2-8inch 25Pcs/cassette 1 cassette/Batch Or 2 cassette/Batch 其它襯底晶片 |
基本規格 | 機臺封面：聚丙烯瓷白PP板材（厚度≥10mm）Or China SUS板材（厚度≥2mm） 機臺主體強度結構：整體骨架表面噴涂處理Or China SUS 矩形材 機臺視窗：透明、抗靜電透明PVC（厚度≥5mm）Or China 鋼化玻璃（厚度≥2mm） |
選配模塊 | 腐蝕液恒溫系統 腐蝕液循環過濾系統 超（兆聲）系統 全自動供液系統 更全面的全自動烘干系統 消防系統 可結合客戶端通訊協定資料存儲、CIM系統、資料分析存儲建立管理 |
機臺特點 | 刻蝕工藝自動補藥液保證了工藝槽在運行過程中濃度的穩定性 QDR沖洗模塊非常見排序式，可根據制程工藝設定 集成自動干燥系統 管路系統、電氣控制系統、伺服電機及絲杠導軌等關鍵核心部件均采用進口標準產品 保修便利，非期貨庫存品工廠內均建立安全庫存品 全程自動化控制，幾何曲線加減速運動，沖擊小運行平穩，機械臂定位精度高 多級別用戶工藝數據庫，可供用戶使用和存儲 作業區內有害氣體多種安全主動及被動保護相結合，保證操作人員作業環境及人身安全 客制化設計能力佳，搞設計能力滿足客戶制程工藝需要 |
機械臂裝置 | Robot的工藝路徑種類 N種（設備出廠前載入PLC內） 機械手傳送定位精度 ≤0.3mm 機械臂走向 右進做出或左進右出 |
制程控制 | PLC控制方式 |
操作界面 | 全圖形化中文彩色人機界面（10.4彩屏） |
槽體數量 | 根據制程要求選擇定制 |
設備制造 | 蘇州尚純半導體設備有限公司 |
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