半自動石英管機/蘇州尚純

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更新時間：2020-07-30 09:50:21瀏覽次數：391次

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蘇州尚純半導體設備有限公司

經營模式：生產廠家

商鋪產品：9條

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產品簡介

半自動石英管機
設備用途：本設備為浸泡式清洗機，用于擴散、外延等設備的石英管、碳化硅管的清洗
控制模式：手動控制模式、自動控制模式

詳細介紹

半自動石英管機

設備用途：本設備為浸泡式清洗機，用于擴散、外延等設備的石英管、碳化硅管的清洗

控制模式：手動控制模式、自動控制模式

項目	數據
基本規格	機臺封面：聚丙烯瓷白PP板材（厚度≥10mm）Or China SUS板材（厚度≥2mm）機臺主體強度結構：整體骨架表面噴涂處理Or China SUS 矩形材機臺視窗：透明、抗靜電透明PVC（厚度≥5mm）Or China 鋼化玻璃（厚度≥2mm）
選配模塊	槽內旋轉腐蝕液循環過濾系統 CDS補液廢液回收可結合客戶端通訊協定資料存儲、CIM系統、資料分析存儲建立管理
機臺特點	刻蝕工藝自動補藥液保證了工藝槽在運行過程中濃度的穩定性 QDR沖洗模塊非常見排序式，可根據制程工藝設定管路系統、電氣控制系統等關鍵核心部件均采用進口標準產品保修便利，非期貨庫存品工廠內均建立安全庫存品多級別用戶工藝數據庫，可供用戶使用和存儲作業區內有害氣體多種安全主動及被動保護相結合，保證操作人員作業環境及人身安全客制化設計能力佳，搞設計能力滿足客戶制程工藝需要
制程控制	PLC控制方式
操作界面	全圖形化中文彩色人機界面（10.4彩屏）
槽體數量	根據制程要求選擇定制
設備制造	蘇州尚純半導體設備有限公司