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蘇州尚純半導體設備有限公司
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設備用途：用來將4、5、6寸硅片化學腐蝕和清洗
控制模式：手動控制模式、自動控制模式
項目數據
適用對象硅片 2-12inch 25Pcs/cassette 1 cassette/Batch Or 2 cassette/Batch
藍寶石晶片2-6inch 25Pcs/cassette 1 cassette/Batch Or 2 cassette/Batch
半自動硅片腐蝕清洗機
設備用途：用來將4、5、6寸硅片化學腐蝕和清洗
控制模式：手動控制模式、自動控制模式
項目 | 數據 |
適用對象 | 硅片 2-12inch 25Pcs/cassette 1 cassette/Batch Or 2 cassette/Batch 藍寶石晶片2-6inch 25Pcs/cassette 1 cassette/Batch Or 2 cassette/Batch 砷化鎵晶片2-6inch 25Pcs/cassette 1 cassette/Batch Or 2 cassette/Batch 碳化硅晶片2-8inch 25Pcs/cassette 1 cassette/Batch Or 2 cassette/Batch 其它襯底晶片 |
基本規格 | 機臺封面：聚丙烯瓷白PP板材（厚度≥10mm）Or China SUS板材（厚度≥2mm） 機臺主體強度結構：整體骨架表面噴涂處理Or China SUS 矩形材 機臺視窗：透明、抗靜電透明PVC（厚度≥5mm）Or China 鋼化玻璃（厚度≥2mm） |
選配模塊 |
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排風系統 | 排風強勁合理設計，為了排風效果達到要求，排風通道內設有風量導流板，為了方便操作人員及時根據情況調節排風量，操作人員可小范圍調節機臺排風背板上的可拆卸式排風口再配合機臺視窗上的可調節進氣模塊，從而達到使用效果 |
機臺特點 |
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制程控制 | PLC控制方式 |
操作界面 | 全圖形化中文彩色人機界面（10.4彩屏） |
槽體數量 | 根據制程要求選擇定制 |
設備制造 | 蘇州尚純半導體設備有限公司 |
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