直流四探針電阻率測試儀通用技術條件

準確度（見表2）

>500 ~1000Ω·cm±5%±10%

>0.001~0.01Ω·cm

分辨率<0.05%<0.1%

電阻率Ω·cm10-4~10410-3~2×103

顯示器CRT顯示不規定

電壓準確度±0.1%±0.3%

薄層電阻Ω/□10-3~10510-2~2×104

具有空調的專用清潔室；室內無強電磁場干擾，無強光直接照射，沒有明顯的振動和波動。電源要求：電壓：（220±10%）V；頻率：（50±1%）Hz；波形：正弦波。

>0.001~0.01Ω·cm

電阻Ω10-3~10510-2~2×104

恒流源性能（見表6） 恒流源對于測試電路為浮置，可自動或手動變換電流方向。

四探針測試儀等級III

模擬電路試驗準確度（見表4）

注：為模擬電路中標準電阻測量值的平均值。平均*工作時間（MTBF），對I、II級儀器都是1000h。

穩定度優于0.05%優于0.1%

在另外兩探針上測量其電位差，利用通入的電流和測量的電位差等數據，以及相應公式經過運算處理得到被測量的參數。

儀表儀表類別>4位數字表>3位數字表

>0.01~500Ω·cm±3%±5%

四探針測試儀等級III

注：1）在多量程的四探針測試儀中，各檔的輸入阻抗可與上表不同，表中所給的數值是指電阻率量程檔的輸入阻抗。

探頭外觀要求應符合SJ/T10315標準的規定。使用環境要求，大氣壓：（86~106）kPa；溫度：（23±5）℃；相對濕度：不大于65%；

>500 ~1000Ω·cm2%（2）3%（2）

四探針測試儀的表面平整光滑，無劃痕、壓傷、變形、銹蝕現象，涂復層不得脫落。零部件的安裝應牢固無松動，有防松動措施，開關、旋鈕的調節應方便，操作應靈活。

輸入阻抗1）MΩ>1000>500

非線性度<0.1%<0.5%

四探針測試儀等級III

安全要求：電源輸入端與機殼間的絕緣電阻應大于500MΩ。電源進線應有保險器。電源輸入端與機殼間應能承受1500V（有效值）交流電壓歷時1分鐘，無擊穿與飛弧現象。

薄層電阻 R 材料內平行于電流方向的電勢梯度除以電流密度與材料厚度的乘積，當厚度趨近于零時，其值為薄層電阻。

四探針測試儀等級III

標準偏差<3%<0.5%

讀數

準確度±0.1%±0.2%

恒流范圍mA0.001~2000.01~100

電阻率  材料內平行于電流方向的電勢梯度與電流密度之比，又稱體電阻率，單位為歐姆·厘米（Ω·cm）。

測量電路（見表5）

四探針測試儀等級III

四探針測試儀等級III

相對誤差±0.3%±0.5%

修正系數，當探針間距、被測樣品的幾何形狀與尺寸等滿足不了基本公式所要求的理想條件時，需要在基本公式中附加一些系數進行修正，這些系數稱為修正系數。

整機綜合技術指標，測量范圍（見表1）

2）指靈敏度情況下的漂移。

>0.01~500Ω·cm1%（2）2%（2）

零點漂移2）±4字/h±2字/h

重復性（見表3）

除下述術語外，本標準所采用的電工名詞術語、四探針探頭名詞術語分別按GB2900.1《電工名詞術語、基本名詞術語》和SJ/T10315《四探針探頭通用技術條件》的標準規定。

表 1

各修正系數的定義、計算公式、使用條件等見附錄A。直流四探針電阻率測試儀，用來測試材料電阻率、薄層電阻和電阻的探針測試裝置。

技術要求：外觀結構要求，四探針測試儀的外觀結構應符合下列原則，布局合理、美觀大方、結構緊湊、顯示清晰、操作方便、易于維修。

四探針測試儀等級III

主要技術性能，四探針測試儀按主要技術性能分為I、II級，在I 級儀器中按自動化程度分為A、B兩檔。

表 3

紋波系數<0.1%<0.2%

由四探針探頭、直流恒流電源和測量儀表等組成。用規定的壓力將探頭上四根探針與被測樣品表面形成歐姆接觸，在其二根探針上通以電流。

顯示、記錄儀表（見表7）

四探針測試儀面板上的文字符號和標志清楚無誤，符合有關標準規定。位移機構的動作應平穩，操作方便，噪聲小。

使用直線形排列與正方形排列的四探針測試儀，電阻率的基本計算公式及公式的使用條件等見附錄A。

記錄儀有不規定

恒流源負載電阻必須滿足下列要求：當某電流值通過可調負載電阻時，負載電阻上必須有不小于10V的電壓可調量。

形式上為薄層電阻率除以材料厚度，單位為歐姆/方塊（Ω/□）。使用直線形排列和正方形排列的四探針測試儀，薄層電阻R的基本計算公式及公式的使用條件等見附錄A。