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詳細介紹
Pfeiffer 普發(fā)分子泵 HiPace 60P
上海伯東代理德國普發(fā)渦輪分子泵 Pfeiffer HiPace 60P 抽速可達到 64 l/s. 分子泵 HiPace 60P 集成氮氣吹掃閥, 耐粉塵, 特別適合工業(yè)環(huán)境, 無 Holweck-stage, 通過保護等級 IP54. 集成控制器 TC 110 保證分子泵的大安全性. 渦輪分子泵 HiPace 60P 可以安裝在任何方向, 自然水冷或風(fēng)冷.
分子泵 HiPace 60P 技術(shù)參數(shù):
型號 | HiPace® 60 P,TC 110, DN 63 ISO-K | HiPace® 60 P,TC 110 RS,DN 63 ISO-K | |
復(fù)合軸承 | 陶瓷球軸承 | ||
Ar 壓縮比 | 2 X106 | ||
H2 壓縮比 | 2 X102 | ||
He 壓縮比 | 3.5 X103 | ||
N2 壓縮比 | 1 X106 | ||
標(biāo)準(zhǔn)冷卻 | 對流 | ||
可選冷卻 | 風(fēng)冷, 水冷 | ||
冷卻水消耗 | 75 l/h | ||
冷卻水溫度 | 5-25 °C | ||
電子驅(qū)動 | TC 110 | TC 110 RS | |
進氣法蘭 | DN 63 ISO-K | ||
排氣法蘭 | DN 16 ISO-KF, G ?" | ||
大預(yù)抽真空, N2 | 4 hPa | ||
全轉(zhuǎn)速時氣體流量, Ar | 0.83 hPa l/s | ||
全轉(zhuǎn)速時氣體流量, H2 | 55 hPa l/s | ||
全轉(zhuǎn)速時氣體流量, He | 55 hPa l/s | ||
全轉(zhuǎn)速時氣體流量, N2 | 9.2 hPa l/s | ||
通訊接口 | RS-485, Remote | ||
安裝方式 | 任意位置安裝 | ||
操作電壓 | 24 (± 5 %) V DC | ||
允許大磁場 | 4 mT | ||
保護類型 | IP 54 | ||
抽速 Ar | 63 l/s | ||
抽速 H2 | 28 l/s | ||
抽速 He | 48 l/s | ||
抽速 N2 | 64 l/s | ||
轉(zhuǎn)速 ± 2 % | 90,000 rpm | ||
啟動時間 | 1.1 min | 1 min | |
極限真空 | < 1X10-6 hPa | ||
放氣接口 | G 1/8" | ||
重量 | 2.2 kg | 2.3 kg | |
分子泵資料下載 | 中文 PDF | 中文 PDF | |
分子泵應(yīng)用 HiPace 60P: 專為抽氣環(huán)境含小顆粒懸浮物設(shè)計研發(fā), 有的耐粉塵設(shè)計, 廣泛應(yīng)用于鍍膜和工業(yè)領(lǐng)域.
鍍膜: 光伏, CD / DVD / PVD
研發(fā): 納米技術(shù), 生物技術(shù)
分析儀器: 電子顯微鏡, 檢漏, 小型質(zhì)譜, 表面分析, 殘余氣體分析
工業(yè): 醫(yī)學(xué)技術(shù), 工業(yè)檢漏, 隔離真空, 燈管制造
渦輪分子泵 HiPace 60P 對不同氣體抽速
渦輪分子泵 HiPace 60P 尺寸圖
Pfeiffer 渦輪分子泵 HiPace 60P 目前在售型號
分子泵 HiPace 60 P TC 110 DN 63 ISO-K
分子泵 HiPace 60 P TC 110 RS DN 63 ISO-K
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