化工機(jī)械設(shè)備網(wǎng)
詳細(xì)介紹
HVA 3位真空閘閥 21700 系列
上海伯東 HVA 3位真空閘閥 21700 系列適用于刻蝕, CVD, 真空鍍膜和其他需要壓力控制工藝的行業(yè). HVA 3位真空閘閥與上游質(zhì)量流量控制器一起使用時(shí), 提供異常壓力控制功能, 該真空閘閥也適用于從粗真空到高真空的平穩(wěn)過(guò)渡. HVA 3位真空閘閥采用兩個(gè)氣動(dòng)電磁閥和一個(gè)空氣壓力調(diào)節(jié)器控制閥門的3種開啟方式: 一個(gè)電磁閥控制閥門的*關(guān)閉和*開啟, 另一個(gè)電磁閥用于控制和調(diào)節(jié)閥門的任意開啟位置. 21700 系列3位真空閘閥廣泛應(yīng)用于低溫泵, 渦輪分子泵, 及其他對(duì)清潔度要求高, 低除氣的高真空行業(yè).
HVA 3位真空閘閥 21700 系列產(chǎn)品特點(diǎn)
1. 機(jī)械預(yù)設(shè), 遙控過(guò)渡閥位
2. 三個(gè)位置都有指示器
3. 標(biāo)準(zhǔn)或者定制法蘭
4. 至少一百萬(wàn)使用周期
5. 任意位置安裝
HVA 3位真空閘閥 21700 系列技術(shù)參數(shù)：
閥門材質(zhì)： | |
閥門主體 | 304不銹鋼 |
焊接波紋管軸封 | AM-350 |
驅(qū)動(dòng)軸和驅(qū)動(dòng)銷 | 硬質(zhì)不繡鋼 |
閥門密封方式： | |
高真空 | 氟橡膠 |
漏率 | <2×10-9 mbar l/s |
差壓關(guān)閉 | 1 bar |
真空： | |
壓力范圍 | 高真空1x10-9 mbar |
漏率 | < 2x10-9 mbar l/S |
差壓關(guān)閉 | 1 bar (任意位置) |
開啟前大壓力 | ≤ 30 mbar |
烘烤溫度（不含電磁閥）： | |
閥門主體 | 150 °c |
驅(qū)動(dòng)方式 | 氣動(dòng) 60 °c |
使用壽命：100,000啟閉次數(shù) | |
公稱通徑：DN100-320 mm | |
美國(guó) HVA 真空閥門-美國(guó)真空閥門制造商。美國(guó)HVA進(jìn)口真空閥門，超過(guò)50年的高真空和超高真空閥門設(shè)計(jì)與制造。主營(yíng)高真空閘閥，高真空角閥廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體、鍍膜、激光、科研、工業(yè)等領(lǐng)域。上海伯東是美國(guó)HVA 真空閥門在中國(guó)地區(qū)總代理商。
若您需要進(jìn)一步的了解詳細(xì)產(chǎn)品信息或討論 , 請(qǐng)參考以下聯(lián)絡(luò)方式 :
上海伯東 : 羅先生 中國(guó)臺(tái)灣伯東 : 王小姐
化工機(jī)械設(shè)備網(wǎng)