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Pfeiffer 渦輪分子泵 HiPace 800
上海伯東德國普發渦輪分子泵 Pfeiffer HiPace 800, 抽速可達 790 l/s 的渦輪分子泵. 分子泵占地面積小, 高氣通量和高抽吸能力. 集成驅動電路, 適用于工業環境, 通過保護等級 IP54, 半導體 S2, UL / CSA 認證. 通過控制器, 監控運算數據保證分子泵的安全性. 渦輪分子泵 HiPace 800 可選控制器 TC 400 或 TCP 350, 另有分子泵 HiPace 800P 因其能抵抗工業粉塵和微小粒子而廣泛應用于工業領域.
渦輪分子泵 HiPace 800 技術參數
<table border="1" cellpadding="0" cellspacing="0" style="width:
分子泵型號
接口 DN
抽速 l/s
壓縮比
啟動壓強mbar
極限壓力
全轉速氣體流量hPa l/s
啟動時間
重量
進氣口
排氣口
氮氣
N2
氦氣He
氫氣 H2
氮氣
N2
氮氣N2
hPa
氮氣N2
min
kg
HiPace 800
HiPace 800 P
200
25
790
700
580
> 1X1011
11
< 1X10–7
6.5
2
12.8 – 19.1
渦輪分子泵 HiPace 800 P 系列, 因其能抵抗工業粉塵和微小粒子而廣泛應用于工業領域.
渦輪分子泵應用 HiPace 800 應用
鍍膜: 光伏, CD / DVD / PVD
工業: 燈管制造
研發: 納米技術, 生物技術
分析儀器: 電子顯微鏡, 檢漏, 小型質譜, 表面分析, 殘余氣體分析
半導體: PVD, CVD, Beamline, Inspection
渦輪分子真空泵 HiPace 800對不同氣體的抽速
渦輪分子泵 HiPace 800 尺寸圖:
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