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詳細(xì)介紹
Pfeiffer 移動(dòng)型氦質(zhì)譜檢漏儀 ASM 390, ASM 392 全新上市！
上海伯東德國(guó) Pfeiffer 移動(dòng)型氦質(zhì)譜檢漏儀 ASM 390, ASM 392 全新上市！ASM 39X 系列是針對(duì)大型檢漏部件設(shè)計(jì)研發(fā), 檢漏儀配有干式非接觸式前級(jí)真空泵和渦輪分子泵, 檢漏儀 ASM 392 內(nèi)置2臺(tái)渦輪分子泵, 可以加速泄漏檢測(cè)流程, 降低生產(chǎn)設(shè)備的停機(jī)時(shí)間, ASM 390, ASM 392 對(duì)氦氣的快速抽空能力和較短的響應(yīng)時(shí)間使其成為同類(lèi)型檢漏儀中的佼者！
移動(dòng)型氦質(zhì)譜檢漏儀 ASM 390, ASM 392 優(yōu)勢(shì):
1. 強(qiáng)大的抽空能力
2. 極短的測(cè)試時(shí)間
3. 大型彩色觸摸屏, 無(wú)需任何工具即可*旋轉(zhuǎn)和拆卸
4. 符合人體工學(xué)設(shè)計(jì), 移動(dòng)性強(qiáng)
5. *符合 Semi S2 標(biāo)準(zhǔn)
上海伯東 Pfeiffer 移動(dòng)型檢漏儀 ASM 390, ASM 392 與 ASM 380 技術(shù)參數(shù)對(duì)比:
型號(hào) | ASM 390 | ASM 392 | ASM 380 |
檢測(cè)氣體 | 4He, 3He, H2 | ||
小檢測(cè)漏率 | 真空模式: 1X10-12 mbar l/s | ||
對(duì)氦氣的抽速 | 10 l/s | 25 l/s, 內(nèi)置2臺(tái)分子泵 | 7 l/s |
前級(jí)泵抽速 | 35 m3/h | ||
進(jìn)氣口大壓力 | 20 mbar | 20 mbar | 15 mbar |
無(wú)校準(zhǔn)的啟動(dòng)時(shí)間(20°C) | 2 min | 2 min | < 4.5 min |
進(jìn)氣口 | DN 40 ISO-KF | ||
響應(yīng)時(shí)間 | < 1 s | ||
Interface, 選配 | RS-232, I/O, Ethernet | ||
噪音 | ≤ 55 dB (A) | ≤ 55 dB (A) | 53 dB (A) |
重量 | 125 kg | 130 kg | 110 kg |
尺寸(LxWxH) | 1072 x 455 x 1025 mm | 1072 x 455 x 1025 mm | 1065 X 455 X 1025 mm |
移動(dòng)型氦質(zhì)譜檢漏儀 ASM 390, ASM 392 應(yīng)用領(lǐng)域: 可用于半導(dǎo)體和平板顯示器行業(yè)以及其他要求*的應(yīng)用
移動(dòng)型氦質(zhì)譜檢漏儀 ASM 390, ASM 392 目前在售型號(hào):
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