詳細(xì)介紹
科研實驗磷酸鋰靶材Li3PO4磁控濺射靶材電子束鍍膜蒸發(fā)料
產(chǎn)品介紹
磷酸鋰(Li3PO4 )為白色結(jié)晶性粉末,溶于稀酸,微溶于水。主要用于生產(chǎn)彩色熒光粉、特種玻璃、光盤材料等;
產(chǎn)品參數(shù)
中文名 磷酸鋰 化學(xué)式 Li3PO4 分子量 115.79
熔點 837℃ 密度 2.537g/ml 純度 99.9%
陶瓷化合物靶材本身質(zhì)脆且導(dǎo)熱性差,連續(xù)長時間濺射易發(fā)生靶裂情況,綁定背靶后,可提高化合物靶材的導(dǎo)熱性能,提高靶材的使用壽命。我們強(qiáng)烈建議您,選購陶瓷化合物靶材一定要綁定銅背靶!
我公司采用高純銦作為焊料,銦焊厚度約為0.2mm,高純無氧銅作為背靶。
注意:高純銦的熔點約為156℃,靶材工作溫度超過熔點會導(dǎo)致銦熔化!綁定背靶不影響靶材的正常使用!
建議:陶瓷脆性靶材、燒結(jié)靶材,高功率下濺射易碎,建議濺射功率不超過3W/cm2。